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有机场效应晶体管非易失性存储器的电荷存储机制研究

中文摘要第4-6页
Abstract第6-8页
第1章 绪论第12-26页
    1.1 有机晶体管存储器概述第12-18页
        1.1.1 有机晶体管存储器的背景介绍第12-13页
        1.1.2 有机晶体管存储器的基本结构第13-14页
        1.1.3 有机晶体管存储器的工作原理第14-15页
        1.1.4 有机晶体管存储器的性能参数第15-18页
    1.2 纳米颗粒悬浮栅极有机晶体管存储器第18-21页
        1.2.1 纳米颗粒悬浮栅极有机晶体管存储器的器件结构第18-20页
        1.2.2 纳米颗粒悬浮栅极的制备方法第20-21页
    1.3 驻极体聚合物有机晶体管存储器第21-23页
        1.3.1 驻极体聚合物有机晶体管存储器的器件结构第21-22页
        1.3.2 驻极体聚合物薄膜的制备方法第22-23页
    1.4 有机晶体管存储器的应用前景第23页
    1.5 本论文的研究意义和主要工作第23-25页
        1.5.1 本论文的研究意义第23-24页
        1.5.2 本论文的主要工作第24-25页
    1.6 本章小结第25-26页
第2章 实验设备、实验材料及实验过程第26-38页
    2.1 实验设备第26-31页
        2.1.1 真空蒸镀仪第26-27页
        2.1.2 真空溅射镀膜仪第27-28页
        2.1.3 低温探针台第28页
        2.1.4 半导体参数分析仪第28-29页
        2.1.5 原子力显微镜第29-30页
        2.1.6 固定角光谱椭偏仪第30-31页
    2.2 实验材料第31-33页
    2.3 实验过程第33-36页
        2.3.1 硅片的切割与清洗第33-34页
        2.3.2 金纳米颗粒薄膜沉积第34页
        2.3.3 聚苯乙烯隧穿绝缘层的制备第34-35页
        2.3.4 驻极体聚合物薄膜的制备第35页
        2.3.5 有机半导体薄膜及铜电极的制备第35-36页
    2.4 有机晶体管存储器的电学性能测量第36-37页
    2.5 本章小结第37-38页
第3章 基于纳米颗粒悬浮栅极P型器件的电荷存储机制研究第38-61页
    3.1 研究背景第38-45页
    3.2 存储器行为特征第45-48页
    3.3 实验参数影响第48-58页
        3.3.1 栅压扫描速度对器件转移特性曲线拐点位置的影响第48-50页
        3.3.2 隧穿绝缘层厚度对器件转移特性曲线拐点位置的影响第50-58页
    3.4 存储器电荷存储机制第58-60页
    3.5 本章小结第60-61页
第4章 基于驻极体聚合物P型器件的电荷存储机制研究第61-81页
    4.1 研究背景第61-67页
    4.2 存储器行为特征第67-70页
    4.3 实验参数影响第70-79页
        4.3.1 栅压扫描速度对器件转移特性曲线拐点位置的影响第70-72页
        4.3.2 驻极体聚合物薄膜厚度对器件转移特性曲线拐点位置的影响第72-79页
    4.4 存储器电荷存储机制第79-80页
    4.5 本章小结第80-81页
第5章 基于纳米颗粒悬浮栅极N型器件的电荷存储机制研究第81-92页
    5.1 研究背景第81-85页
    5.2 存储器行为特征第85-86页
    5.3 实验参数影响第86-90页
        5.3.1 栅压扫描速度对器件转移特性曲线拐点位置的影响第86-88页
        5.3.2 隧穿绝缘层厚度对器件转移特性曲线拐点位置的影响第88-90页
    5.4 存储器电荷存储机制第90-91页
    5.5 本章小结第91-92页
第6章 全文总结第92-94页
参考文献第94-100页
攻读硕士学位期间本人发表的论文第100-101页
致谢第101页

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