| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1. 绪论 | 第8-13页 |
| ·生物传感器的发展前景 | 第8-9页 |
| ·ZnO/ SiO_2/ Si 基声表面波生物传感器的研究意义和目的 | 第9-11页 |
| ·ZnO/ SiO_2/ Si 基声表面波生物传感器的研究历史与现状 | 第11-12页 |
| ·本课题的来源及研究内容 | 第12-13页 |
| 2. 相关理论分析 | 第13-18页 |
| ·声表面波基本理论 | 第13-14页 |
| ·ZnO/ SiO_2/ Si 基声表面波生物传感器基本理论 | 第14-17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 3. 氧化锌纳米级薄膜的制备 | 第18-36页 |
| ·射频磁控溅射法 | 第18页 |
| ·溅射材料与实验仪器 | 第18-19页 |
| ·射频溅射法实验步骤 | 第19-22页 |
| ·ZnO 薄膜性能分析 | 第22-34页 |
| ·本章小结 | 第34-36页 |
| 4. 声表面波换能器的设计 | 第36-47页 |
| ·换能器在声表面波生物传感器的应用 | 第36-38页 |
| ·单相单向换能器（SPUDT） | 第38-39页 |
| ·单相单向换能器类型的选取 | 第39-41页 |
| ·单相单向换能器的仿真方法 | 第41-42页 |
| ·声表面波换能器的仿真与设计 | 第42-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 5. 总结与展望 | 第47-49页 |
| ·总结 | 第47-48页 |
| ·展望 | 第48-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-56页 |
| 附录：攻读学位期间已发表的论文 | 第56页 |
