基于FBAR的微质量传感器的设计及应用技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-19页 |
| ·传感器研究现状 | 第8-12页 |
| ·无线传感器网络发展简介 | 第8-9页 |
| ·FBAR 质量传感器研究现状 | 第9-12页 |
| ·国内 FBAR 传感器研究进展与存在问题 | 第12页 |
| ·FBAR 传感原理 | 第12-17页 |
| ·论文的研究内容与安排 | 第17-19页 |
| ·论文的研究意义和研究内容 | 第17-18页 |
| ·论文的章节安排 | 第18-19页 |
| 第二章 FBAR的制备与建模 | 第19-28页 |
| ·AlN SMR 的制备与测试 | 第19-22页 |
| ·SMR 的制备工艺流程 | 第19-21页 |
| ·SMR 性能测试 | 第21-22页 |
| ·FBAR 器件的电学模型分析与仿真 | 第22-26页 |
| ·Mason 等效模型 | 第23-24页 |
| ·BVD 模型 | 第24-25页 |
| ·MBVD 模型 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-28页 |
| 第三章 FBAR测试电路板设计 | 第28-45页 |
| ·MBVD 模型参数提取方法 | 第28-30页 |
| ·FBAR 片上测试结果模型拟合 | 第30-32页 |
| ·FBAR 测试电路板设计 | 第32-39页 |
| ·测试电路板的必要性 | 第32-33页 |
| ·板上测试原理 | 第33-35页 |
| ·测试板测量结果与讨论 | 第35-38页 |
| ·板上测试总结 | 第38-39页 |
| ·ADS negation model 使用介绍 | 第39-43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 第四章 FBAR微质量传感系统设计 | 第45-68页 |
| ·FBAR 质量传感模型 | 第45-47页 |
| ·微质量传感系统结构 | 第47-48页 |
| ·微质量传感系统实现 | 第48-66页 |
| ·信号发生模块电路设计 | 第48-56页 |
| ·混频器模块 | 第56-58页 |
| ·Chebyshev 低通滤波器设计 | 第58-61页 |
| ·放大器设计 | 第61-62页 |
| ·波形转换电路设计 | 第62-64页 |
| ·分频电路设计与整机调试 | 第64-66页 |
| ·微质量传感器性能与不足 | 第66-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第五章 总结与展望 | 第68-70页 |
| ·论文主要研究内容 | 第68-69页 |
| ·论文不足与改进方向 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第75-77页 |
