| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 主要符号对照表 | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| ·电力电子器件概述 | 第8-9页 |
| ·AlGaN/GaN SBD 的研究意义 | 第9-11页 |
| ·AlGaN/GaN SBD 的研究现状及面临的问题 | 第11-12页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第12-14页 |
| 第2章 AlGaN/GaN SBD 工作原理及评测方法 | 第14-23页 |
| ·AlGaN/GaN SBD 基本结构及工作原理 | 第14-19页 |
| ·AlGaN/GaN SBD 基本结构 | 第14页 |
| ·金属半导体接触 | 第14-16页 |
| ·半导体表面性质对金属半导体接触的影响 | 第16-18页 |
| ·AlGaN/GaN SBD 工作原理 | 第18-19页 |
| ·AlGaN/GaN SBD 评测方法 | 第19-21页 |
| ·I-V 测试 | 第19-21页 |
| ·C-V 测试 | 第21页 |
| ·本章小结 | 第21-23页 |
| 第3章 表面处理对 AlGaN/GaN SBD 欧姆接触的影响 | 第23-32页 |
| ·AlGaN/GaN SBD 的欧姆接触 | 第23页 |
| ·欧姆接触的测试及分析方法 | 第23-25页 |
| ·传输线模型 | 第23-25页 |
| ·X 射线光电子能谱 | 第25页 |
| ·表面处理对 AlGaN/GaN SBD 欧姆接触的影响及机理 | 第25-31页 |
| ·实验过程 | 第26页 |
| ·测试结果分析 | 第26-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第4章 AlGaN/GaN SBD 的肖特基接触电极 | 第32-49页 |
| ·AlGaN/GaN SBD 高质量肖特基接触电极的制作 | 第32-38页 |
| ·器件制作工艺过程 | 第34-35页 |
| ·器件图形尺寸的优化 | 第35-37页 |
| ·器件肖特基电极金属的优化 | 第37-38页 |
| ·AlGaN/GaN SBD 的表面态计算 | 第38-47页 |
| ·表面态测试及计算原理 | 第38-39页 |
| ·表面态计算模型 | 第39-43页 |
| ·实验及计算结果 | 第43-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 第5章 总结 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第55页 |
