光探针形貌测量系统中微位移工作台的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-17页 |
| ·课题来源及研究的背景和意义 | 第8页 |
| ·光探针测量技术 | 第8-10页 |
| ·微位移系统的研究状况 | 第10-15页 |
| ·微位移工作台的发展状况 | 第10-12页 |
| ·柔性铰链的研究动态 | 第12-13页 |
| ·压电陶瓷模型及控制方法的研究 | 第13-15页 |
| ·本文研究主要内容 | 第15-17页 |
| 第2章 光探针形貌测量系统及调焦机构 | 第17-24页 |
| ·引言 | 第17页 |
| ·光探针形貌测量系统的结构 | 第17-18页 |
| ·调焦执行机构及确定 | 第18-19页 |
| ·微位移工作台的设计 | 第19-21页 |
| ·微位移工作台的设计要求 | 第20页 |
| ·微位移工作台原理及结构 | 第20-21页 |
| ·微位移工作台驱动单元 | 第21-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 微位移工作台分析与试验 | 第24-41页 |
| ·柔性铰链分析 | 第24-27页 |
| ·柔性铰链的计算 | 第24-26页 |
| ·柔性铰链设计参量分析 | 第26-27页 |
| ·微动工台解析法设计及应力分析 | 第27-31页 |
| ·双圆型柔性铰链工作台解析法设计 | 第27-28页 |
| ·平行板柔性铰链工作台解析法设计 | 第28-30页 |
| ·两种柔性铰链的对比 | 第30-31页 |
| ·微位移工作台的应力分析 | 第31页 |
| ·微动工作台的动力学建模 | 第31-33页 |
| ·有限元分析方法 | 第33-36页 |
| ·有限元法的求解思想 | 第33-34页 |
| ·有限元法的基本理论 | 第34-35页 |
| ·ANSYS 软件介绍 | 第35-36页 |
| ·微位移工作台有限元仿真试验 | 第36-39页 |
| ·微位移工作台静态仿真试验 | 第36-38页 |
| ·微位移工作台模态仿真试验 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 第4章 压电陶瓷驱动器特性分析 | 第41-50页 |
| ·引言 | 第41页 |
| ·压电效应与电致伸缩效应 | 第41-43页 |
| ·压电滞回原理及极化处理 | 第43-44页 |
| ·压电陶瓷特性分析 | 第44-49页 |
| ·迟滞特性 | 第44-45页 |
| ·蠕变特性 | 第45-46页 |
| ·非线性特性 | 第46-47页 |
| ·温度特性 | 第47页 |
| ·负载特性 | 第47-48页 |
| ·动态特性 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第5章 压电陶瓷微位移系统控制与试验 | 第50-59页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·微位移系统数学模型的建立 | 第50-51页 |
| ·压电陶瓷驱动器传递函数 | 第50页 |
| ·微位移工作台传递函数 | 第50-51页 |
| ·驱动系统传递函数 | 第51页 |
| ·微位移系统传递函数 | 第51页 |
| ·微位移系统PID 控制与试验 | 第51-57页 |
| ·PID 控制思想 | 第51-53页 |
| ·PID 控制器设计 | 第53-54页 |
| ·PID 控制仿真与实验研究 | 第54-57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 致谢 | 第64页 |
