基于动力学模型的真空机械手控制方法研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| ·课题背景 | 第9-10页 |
| ·真空机械手研究现状 | 第10-15页 |
| ·真空机械手控制器研究现状 | 第12-13页 |
| ·真空机械手轨迹规划研究进展: | 第13-14页 |
| ·机械手动力学控制研究进展 | 第14-15页 |
| ·本论文的主要工作 | 第15-17页 |
| ·研究主线 | 第15页 |
| ·论文主要工作 | 第15-17页 |
| 2 真空机械手建模 | 第17-38页 |
| ·引言 | 第17页 |
| ·真空机械手组成 | 第17页 |
| ·真空机械手本体结构 | 第17-18页 |
| ·真空机械手的运动方式 | 第18-19页 |
| ·数学模型 | 第19-37页 |
| ·坐标系的建立 | 第19-21页 |
| ·运动学模型 | 第21-24页 |
| ·动力学模型 | 第24-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 3 真空机械手控制器设计研究 | 第38-47页 |
| ·引言 | 第38页 |
| ·集束型设备传输模组控制器结构设计 | 第38-42页 |
| ·集束型设备中晶圆运作流程 | 第39-40页 |
| ·传输模组控制器 | 第40-41页 |
| ·传输模组控制系统结构初步设计 | 第41页 |
| ·真空机械手动作指令 | 第41-42页 |
| ·开放式机械手控制器 | 第42-46页 |
| ·开放式机械手控制结构 | 第42-44页 |
| ·系统组成 | 第44页 |
| ·运动控制器分类 | 第44-45页 |
| ·PMAC PC-104控制器 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 4 真空机械手轨迹规划研究与实现 | 第47-57页 |
| ·引言 | 第47页 |
| ·轨迹规划方法 | 第47-48页 |
| ·真空机械手轨迹规划 | 第48-56页 |
| ·真空机械手动力学方程的笛卡尔空间表示 | 第48-50页 |
| ·力矩受限时的时间最优加速度规划 | 第50-51页 |
| ·真空机械手轨迹规划方法 | 第51-53页 |
| ·真空机械手轨迹规划仿真研究 | 第53-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 5 真空机械手动力学控制研究 | 第57-68页 |
| ·引言 | 第57页 |
| ·机械手的计算力矩控制算法 | 第57-62页 |
| ·理论基础 | 第57-59页 |
| ·计算力矩动力学仿真 | 第59-62页 |
| ·带鲁棒补偿策略的机械手的计算力矩控制算法 | 第62-67页 |
| ·机械手不确定上界已知的补偿算法 | 第62-64页 |
| ·机械手不确定上界未知的自适应鲁棒补偿控制算法 | 第64-65页 |
| ·仿真研究 | 第65-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-71页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
