基于相移干涉法的三维表面微观轮廓测量技术的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| ·引言 | 第11-13页 |
| ·表面三维轮廓的测量方法 | 第13-20页 |
| ·机械探针式测量方法 | 第13-14页 |
| ·光学探针式测量方法 | 第14-16页 |
| ·扫描探针显微镜 | 第16-17页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第17-18页 |
| ·位相干涉测量方法PMI | 第18-19页 |
| ·各种测量方法比较 | 第19-20页 |
| ·相移干涉术的研究现状和发展趋势 | 第20-22页 |
| ·相位提取算法 | 第21页 |
| ·相位解包裹算法 | 第21-22页 |
| ·本课题的主要内容 | 第22-23页 |
| 第2章 相移干涉术的理论基础 | 第23-39页 |
| ·干涉显微镜 | 第23-25页 |
| ·相移干涉术的基本测量原理 | 第25-29页 |
| ·步进相移干涉术原理 | 第25-28页 |
| ·线性连续相移干涉术原理 | 第28-29页 |
| ·最佳采样方式 | 第29-32页 |
| ·移相方法 | 第32-34页 |
| ·偏振移相 | 第33页 |
| ·光栅衍射移相 | 第33-34页 |
| ·倾斜玻璃板移相 | 第34页 |
| ·压电陶瓷移相 | 第34页 |
| ·表面轮廓相位计算 | 第34-37页 |
| ·相位提取算法 | 第34-35页 |
| ·相位去包裹算法 | 第35-37页 |
| ·影响测量误差的主要因素 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第3章 微位移系统的研究与整体设计 | 第39-52页 |
| ·微位移驱动器 | 第39-40页 |
| ·电热式微位移机构 | 第39页 |
| ·磁致伸缩微位移机构 | 第39页 |
| ·电磁铁驱动的微位移机构 | 第39页 |
| ·压电陶瓷微位移机构 | 第39-40页 |
| ·压电陶瓷误差分析 | 第40-41页 |
| ·迟滞现象 | 第40-41页 |
| ·蠕变现象 | 第41页 |
| ·外界因素影响 | 第41页 |
| ·压电陶瓷线性区域测试及选定 | 第41-45页 |
| ·微位移活动平台 | 第45-46页 |
| ·压电陶瓷驱动电源 | 第46-47页 |
| ·系统的整体设计 | 第47-51页 |
| ·系统的实验原理图 | 第47页 |
| ·CCD 摄像机与图像采集卡 | 第47-49页 |
| ·系统软件设计 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第4章 干涉图像数据的处理 | 第52-68页 |
| ·引言 | 第52页 |
| ·频域处理方法 | 第52-57页 |
| ·频域处理的原理和分类 | 第52-53页 |
| ·低通滤波 | 第53-56页 |
| ·高通滤波 | 第56-57页 |
| ·空域处理方法 | 第57-67页 |
| ·空域处理的原理和分类 | 第57-58页 |
| ·均值滤波 | 第58-63页 |
| ·中值滤波 | 第63-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第5章 实验结果及分析 | 第68-73页 |
| ·评定参数的理论基础 | 第68页 |
| ·实验结果 | 第68-72页 |
| ·实验结果分析 | 第72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 结论 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79页 |
