| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-36页 |
| ·毛细管电泳芯片技术 | 第8-22页 |
| ·UV-LIGA 技术 | 第22-35页 |
| ·课题来源及论文主要研究内容 | 第35-36页 |
| 2 微电铸工艺原理及微电铸系统的构建 | 第36-50页 |
| ·微电铸工艺原理 | 第36-37页 |
| ·铸层缺陷形成的理论分析 | 第37-40页 |
| ·微电铸系统的构建 | 第40-50页 |
| 3 基于UV-LIGA 技术的毛细管电泳芯片设计与制备 | 第50-72页 |
| ·毛细管电泳芯片设计 | 第50页 |
| ·紫外光光刻工艺 | 第50-54页 |
| ·微电铸成型工艺 | 第54-67页 |
| ·微塑铸成型工艺 | 第67-72页 |
| 4 电铸液分析及毛细管电泳芯片生物学实验验证 | 第72-82页 |
| ·电铸液分析 | 第72-77页 |
| ·毛细管电泳芯片生物学实验验证 | 第77-82页 |
| 5 结论与展望 | 第82-84页 |
| ·结论 | 第82页 |
| ·展望 | 第82-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 参考文献 | 第85-92页 |
| 附录：攻读硕士学位期间发表论文 | 第92页 |