无线多传感器网络—微小型振动传感器研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-12页 |
| ·课题背景及其研究意义. | 第7-8页 |
| ·无线多传感器网络简介 | 第8-9页 |
| ·国内外的研究动态 | 第9-11页 |
| ·国外研究动态 | 第9-10页 |
| ·国内研究状况 | 第10-11页 |
| ·本论文所研究的内容 | 第11-12页 |
| 2 传感器设计方案和工作原理 | 第12-29页 |
| ·振动传感器设计方案 | 第12-14页 |
| ·方案设计依据 | 第12-13页 |
| ·具体方案设计 | 第13-14页 |
| ·振动传感器力学理论 | 第14-19页 |
| ·振动传感器力学数学模型 | 第14-17页 |
| ·受激振动力学数学模型 | 第17-19页 |
| ·常用的振动传感器介绍 | 第19-23页 |
| ·振动信号检测原理 | 第19-20页 |
| ·测振传感器的类别 | 第20-21页 |
| ·常用惯性传感器介绍 | 第21-23页 |
| ·振动传感器敏感机理 | 第23-28页 |
| ·应变计的工作原理 | 第24-25页 |
| ·半导体材料的压阻效应 | 第25-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 3 微型振动传感器系统的制作工艺 | 第29-45页 |
| ·悬臂梁的设计分析 | 第29-36页 |
| ·悬臂梁的基本结构 | 第29-31页 |
| ·悬臂梁的灵敏度影响因子 | 第31-32页 |
| ·悬臂梁的结构的固有频率分析 | 第32-33页 |
| ·悬臂梁的结构分析 | 第33-36页 |
| ·传感器系统的微小型化设计 | 第36-39页 |
| ·先进微机械电子系统(MEMS)加工工艺介绍 | 第36-39页 |
| ·应变电阻制作 | 第39页 |
| ·敏感芯片材料的选择 | 第39-40页 |
| ·器件微型化尺度效应探讨分析 | 第40-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 4 传感器信号处理电路设计 | 第45-52页 |
| ·测量电桥结构 | 第45-47页 |
| ·信号放大电路 | 第47-50页 |
| ·传感器整体电路设计 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 5 传感器的仿真分析 | 第52-57页 |
| ·传感器机械结构仿真分析 | 第52-53页 |
| ·放大电路的仿真 | 第53-55页 |
| ·传感器性能影响因素研究 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 结束语 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-60页 |
