| 独创性说明 | 第1-4页 |
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 引言 | 第9-10页 |
| 1 扫描探针显微镜(SPM)简介 | 第10-19页 |
| ·扫描隧道显微镜(STM)简介 | 第10-12页 |
| ·扫描隧道显微镜发展历史 | 第10-11页 |
| ·扫描隧道显微镜工作原理 | 第11页 |
| ·扫描隧道显微镜工作模式 | 第11-12页 |
| ·光子扫描隧道显微镜(PSTM)简介 | 第12-13页 |
| ·光子扫描隧道显微镜发展历史 | 第12页 |
| ·光子扫描隧道显微镜物理机制 | 第12-13页 |
| ·光子扫描隧道显微镜工作模式 | 第13页 |
| ·扫描近场光学显微镜(SNOM)简介 | 第13-15页 |
| ·扫描近场光学显微镜发展历史 | 第13-14页 |
| ·扫描近场光学显微镜工作原理 | 第14页 |
| ·扫描近场光学显微镜工作模式 | 第14-15页 |
| ·原子力显微镜(AFM)简介 | 第15-19页 |
| ·原子力显微镜发展历史 | 第15页 |
| ·原子力显微镜工作原理 | 第15-16页 |
| ·力-距离曲线 | 第16-17页 |
| ·原子力显微镜工作模式 | 第17页 |
| ·原子力显微镜的特点 | 第17-19页 |
| 2 原子力显微镜在膜科学中的应用 | 第19-35页 |
| ·膜表面粗糙度测定 | 第19-23页 |
| ·膜孔径结构观察和大小测量 | 第23-25页 |
| ·膜表面摩擦力测定 | 第25-28页 |
| ·膜表面弹性测定 | 第28-30页 |
| ·膜电化学性质测量 | 第30-33页 |
| ·成膜机理研究 | 第33-35页 |
| 3 Pico Plus原子力显微镜对膜成象研究 | 第35-50页 |
| ·CdZnO薄膜成象研究 | 第36-38页 |
| ·CdZnO薄膜样品制备 | 第37页 |
| ·CdZnO薄膜样品成象 | 第37-38页 |
| ·光学存储膜(Ge2Sb2Te5)研究 | 第38-42页 |
| ·光学存储膜(Ge2Sb2Te5)样品制备 | 第39页 |
| ·光学存储膜(Ge2Sb2Te5)样品成象 | 第39-42页 |
| ·半导体膜研究 | 第42-45页 |
| ·半导体膜样品制备 | 第42页 |
| ·半导体膜样品成象 | 第42-45页 |
| ·银胶薄膜研究 | 第45-47页 |
| ·银胶薄膜样品制备 | 第45页 |
| ·银胶薄膜样品成象 | 第45-47页 |
| ·DLC类金刚石薄膜研究 | 第47-50页 |
| 4 参数改变对Pico Plus原子力显微镜实验操作的影响 | 第50-59页 |
| ·扫描参数对图像的影响 | 第50-56页 |
| ·扫描范围对扫描成象的影响 | 第50-51页 |
| ·扫描速率对扫描成象的影响 | 第51-53页 |
| ·积分常数I对扫描成象的影响 | 第53-54页 |
| ·比例常数P对扫描成象的影响 | 第54-55页 |
| ·像素大小对扫描成象的影响 | 第55-56页 |
| ·Pico Plus原子力显微镜实验操作体会 | 第56-59页 |
| ·不透明样品进针不能实时观察 | 第56-57页 |
| ·仪器内部噪音及发热较大 | 第57页 |
| ·图像数据处理软件功能偏弱 | 第57-59页 |
| 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第67页 |