| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| ·射频MEMS 概况 | 第8-10页 |
| ·射频MEMS 简介 | 第8-9页 |
| ·射频MEMS 器件 | 第9-10页 |
| ·可变电容的应用领域和特点 | 第10-11页 |
| ·几种典型的射频MEMS 可变电容 | 第11-16页 |
| ·上极板水平移动的可变电容 | 第11页 |
| ·梳状水平移动的可变电容 | 第11-12页 |
| ·平行板上下移动的可变电容 | 第12-13页 |
| ·平行板梳状上下移动的可变电容 | 第13页 |
| ·改变介质的面积交叠可变电容 | 第13-14页 |
| ·使用水平执行器的可变电容 | 第14-15页 |
| ·使用绝缘衬底实现的可变电容 | 第15页 |
| ·使用MEMS 开关调节电容阵列来实现的电容 | 第15-16页 |
| ·各种可变电容的比较 | 第16页 |
| ·本章小结 | 第16-18页 |
| 第二章 射频MEMS 可变电容的原理和设计 | 第18-31页 |
| ·MEMS 可变电容的原理 | 第18页 |
| ·平行板可变电容的原理 | 第18-24页 |
| ·平行板可变电容的结构和原理 | 第18-20页 |
| ·MEMS 平行板可变电容的平板部分的优化 | 第20-22页 |
| ·环境导致的悬臂微机械可变电容的变化 | 第22-24页 |
| ·平行板射频MEMS 可变电容的设计 | 第24-25页 |
| ·平行板射频MEMS 可变电容的设计参数 | 第24-25页 |
| ·平行板射频MEMS 可变电容的设计步骤 | 第25页 |
| ·射频MEMS 可变电容中机械梁的设计 | 第25-29页 |
| ·悬臂梁的机械性能 | 第25-26页 |
| ·Crab 梁的机械性能 | 第26-28页 |
| ·“T”形梁的机械性能 | 第28-29页 |
| ·三种连接梁的比较 | 第29页 |
| ·本章小结 | 第29-31页 |
| 第三章 射频MEMS 可变电容的模拟和结构设计 | 第31-44页 |
| ·Crab 梁可变电容的特性 | 第32-36页 |
| ·Crab 梁可变电容的结构 | 第32-33页 |
| ·模型的建立及参数 | 第33页 |
| ·Crab 梁可变电容结果分析 | 第33-36页 |
| ·“T”型梁可变电容的特性 | 第36-39页 |
| ·“T”型梁可变电容的结构 | 第36-37页 |
| ·“T”型梁可变电容模型的建立及参数 | 第37页 |
| ·“T”型梁可变电容结果分析 | 第37-39页 |
| ·两种可变电容比较 | 第39页 |
| ·动态特性等效电路的建立 | 第39-43页 |
| ·描述电容的动态特性用分析动态特性方程的方法 | 第39-42页 |
| ·动态特性等效电路模拟 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 MEMS 可变电容的工艺设计 | 第44-50页 |
| ·射频MEMS 可变电容的工艺设计 | 第44页 |
| ·射频MEMS 可变电容的制作工艺流程设计 | 第44页 |
| ·MEMS 可变电容的制作工艺中的牺牲层释放 | 第44-46页 |
| ·高浓度HF 混合物 | 第45页 |
| ·磷硅玻璃牺牲层的腐蚀 | 第45页 |
| ·金属的腐蚀防止 | 第45页 |
| ·粘附的防止 | 第45-46页 |
| ·射频MEMS 可变电容的应力计算 | 第46-49页 |
| ·小结 | 第49-50页 |
| 第五章 MEMS 可变电容的高频特性和VCO 电路设计 | 第50-61页 |
| ·MEMS 可变电容的高频特性 | 第50-56页 |
| ·高频等效电路的建立 | 第50-54页 |
| ·趋肤效应 | 第54-55页 |
| ·高频特性的模拟 | 第55-56页 |
| ·压控振荡器的性能指标 | 第56-57页 |
| ·科尔皮兹振荡器 | 第57-60页 |
| ·运用RF MEMS 可变电容的VCO 电路模拟 | 第60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第六章 总结 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 图表索引 | 第66-68页 |
| 在学期间发表的论文 | 第68页 |