硅中注氦诱生微孔对金吸除作用的研究

引言	第1-8页
第一章 吸除杂质的方法及其机理	第8-24页
·吸除杂质的方法	第9-10页
·吸除杂质的模式(机理)	第10-15页
·吸杂效率的研究方法	第15-16页
·注氦诱生微孔的形成及吸杂机理	第16-22页
参考文献	第22-24页
第二章 离子注入及热处理	第24-30页
·离子注入	第24-27页
·离子注入后的热处理	第27-28页
·He~+注入及热处理	第28-29页
参考文献	第29-30页
第三章 金在硅中的扩散分布	第30-34页
·金在硅中的扩散系数和固溶度	第30-32页
·金在硅中的扩散分布	第32-33页
参考文献	第33-34页
第四章 注氦诱生微孔对Au吸除作用的研究	第34-57页
·实验	第34-37页
·微孔的形成以及吸除热处理方法的选取	第37-42页
·双面抛光片(抛光面)上微孔的吸杂效果及其均匀性	第42-45页
·单面抛光片(粗糙面)上微孔的吸杂效果及其均匀性	第45-49页
·微孔吸除与其他吸除技术对Au吸除效果的比较	第49-53页
·在抛光面和粗糙面上形成的微孔吸除效率的比较	第53-54页
·小结	第54-56页
参考文献	第56-57页
总结	第57-60页
致谢	第60页