闭环微加速度计接口全差分ASIC电路的设计
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-15页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·国内外研究现状 | 第7-13页 |
| ·微机械加速度计机械结构分类 | 第7-8页 |
| ·微机械加速度计检测电路分类 | 第8-9页 |
| ·国外发展现状 | 第9-13页 |
| ·国内发展现状 | 第13页 |
| ·研究目的和意义 | 第13-14页 |
| ·研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 电容式闭环微加速度计工作原理 | 第15-24页 |
| ·引言 | 第15页 |
| ·电容式微加速度计工作原理 | 第15-18页 |
| ·电容式微加速度计机械结构 | 第15-17页 |
| ·差分电容检测原理 | 第17-18页 |
| ·电容式微加速度计全差分接口电路工作原理 | 第18-23页 |
| ·全差分电路电容检测原理 | 第18-20页 |
| ·全差分检测电路闭环工作原理 | 第20-21页 |
| ·全差分检测电路系统原理 | 第21-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 电容式微加速度计全差分接口电路实现 | 第24-51页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·微加速度计机械部分电学模型的建立 | 第24-25页 |
| ·全差分检测电路模拟部分关键模块设计 | 第25-35页 |
| ·全桥平衡模块设计 | 第26-27页 |
| ·电容补偿阵列设计 | 第27页 |
| ·电荷放大器 | 第27-31页 |
| ·后级放大电路 | 第31页 |
| ·相关双采样电路 | 第31-32页 |
| ·采样保持电路 | 第32-33页 |
| ·单位增益缓冲器 | 第33-34页 |
| ·控制开关 | 第34-35页 |
| ·全差分检测电路数字部分关键模块设计 | 第35-41页 |
| ·反相器 | 第35-36页 |
| ·环形振荡器 | 第36-37页 |
| ·分频电路 | 第37-39页 |
| ·组合逻辑电路 | 第39-40页 |
| ·高低压隔离电路 | 第40页 |
| ·高低压转换电路 | 第40-41页 |
| ·全差分接口电路噪声分析 | 第41-45页 |
| ·机械噪声 | 第41页 |
| ·电路噪声 | 第41-45页 |
| ·整体电路仿真 | 第45-47页 |
| ·PID控制器的讨论 | 第47-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第4章 版图设计及后仿真 | 第51-59页 |
| ·引言 | 第51页 |
| ·版图布局 | 第51页 |
| ·器件匹配 | 第51-53页 |
| ·噪声保护 | 第53-54页 |
| ·可靠性设计 | 第54-57页 |
| ·布线与打孔 | 第54-55页 |
| ·闩锁效应 | 第55-56页 |
| ·静电保护 | 第56-57页 |
| ·版图总体设计 | 第57页 |
| ·后仿真 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 结论 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
