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ZnO基薄膜及多量子阱结构的脉冲激光沉积制备与物性研究

中文摘要第1-5页
英文摘要第5-9页
引言第9-10页
第1章 ZnO 材料与脉冲激光沉积(PLD)技术简介第10-27页
   ·ZnO 材料简介第10-16页
     ·ZnO 材料的基本性质第10-12页
     ·ZnO 薄膜研究现状第12-16页
   ·PLD 简介第16-20页
     ·PLD 技术的原理与机制第17-18页
     ·PLD 技术的特点第18页
     ·PLD 系统结构第18-19页
     ·PLD 技术在制备ZnO 中的应用第19-20页
   ·本论文研究内容和意义第20-21页
 参考文献第21-27页
第2章 ZnO 薄膜的PLD 制备及物性研究第27-47页
   ·ZnO 薄膜的制备第27-28页
     ·ZnO 靶材的制备第27页
     ·衬底的选择及清洗第27-28页
     ·ZnO 薄膜的生长第28页
   ·生长条件对ZnO 薄膜结构及发光性质的影响第28-39页
     ·衬底温度的影响第28-33页
     ·氧气压强的影响第33-35页
     ·激光功率密度的影响第35-39页
     ·本节小结第39页
   ·Si 表面氮化提高ZnO 薄膜质量第39-44页
     ·实验方法第40页
     ·ZnO/Si(111)界面成键构型第40-42页
     ·ZnO 薄膜的结构和发光性质表征第42-44页
     ·本节小结第44页
   ·本章小结第44-45页
 参考文献第45-47页
第3章 Mgx_Zn_(1-x)O 薄膜的PLD 制备及物性研究第47-57页
   ·Mgx_Zn_(1-x)O 靶材的制备第47页
   ·Mgx_Zn_(1-x)O 薄膜的制备与表征第47-51页
     ·Mgx_Zn_(1-x)O 薄膜的制备第47-48页
     ·Mgx_Zn_(1-x)O 薄膜的结构与光学性质第48-51页
     ·本节小结第51页
   ·Mg_(0.21)Zn_(0.79)O 基紫外光探测器研究第51-54页
     ·Mg_(0.21)Zn_(0.79)O 基紫外光探测器的制备第51页
     ·Mg_(0.21)Zn_(0.79)O 基紫外光探测器的光电响应第51-54页
     ·本节小结第54页
   ·本章小结第54-56页
 参考文献第56-57页
第4章 MgZnO/MgO 多量子阱(MQW)的PLD 制备及物性研究第57-79页
   ·MgZnO/MgO MQW/c-Al_20_3 的制备及物性研究第57-64页
     ·MgZnO/MgO MQW/c-Al_20_3 的制备第57-59页
     ·MgZnO/MgO MQW/c-Al_20_3 的物性研究第59-64页
   ·MgZnO/MgO MQW/m-Al_20_3 的制备及物性研究第64-71页
     ·MgZnO/MgO MQW/m-Al_20_3 的制备第64-66页
     ·MgZnO/MgO MQW/m-Al_20_3 的物性研究第66-71页
   ·MgZnO/MgO MQW 的电子态分析第71-74页
   ·MQW 阱层能带分析第74-76页
   ·本章小结第76-77页
 参考文献第77-79页
第5章 ZnO/MgO MQW 的PLD 制备及物性研究第79-89页
   ·ZnO/MgO MQW 的制备第79页
   ·ZnO/MgO MQW 的物性研究第79-86页
     ·ZnO/MgO MQW 的结构性质第79-84页
     ·ZnO/MgO MQW 的光学性质第84-86页
   ·本章小结第86-87页
 参考文献第87-89页
第6章 结论第89-90页
致谢第90-91页
在学期间公开发表论文及参加学术会议情况第91页

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