集成皮拉尼真空传感器系统研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-10页
1 绪论	第10-30页
·真空科学及真空传感器介绍	第10-12页
·皮拉尼传感器的基本原理及硅微皮拉尼传感器的发展	第12-21页
·不同结构的硅微皮拉尼传感器	第13-16页
·不同加热材料的硅微皮拉尼传感器	第16-21页
·与集成电路工艺兼容的皮拉尼传感器系统发展	第21-27页
·浅谈传感器系统的意义	第21-23页
·皮拉尼传感器系统的发展	第23-27页
·本文的研究意义及内容	第27-30页
2 硅微皮拉尼传感器中气体导热的微尺度效应	第30-46页
·引言	第30页
·气体导热原理及硅微皮拉尼传感器的微观敏感机理	第30-33页
·气体导热的微尺度效应	第33-37页
·文献中气体导热的微尺度效应描述	第33-35页
·微热桥中气体导热的微尺度效应	第35-36页
·微热桥中气体导热、对流与辐射	第36-37页
·气体导热的微尺度效应在微热桥热分析中的应用	第37-45页
·微热桥的电-热-力耦合分析	第38-44页
·微热桥模型的误差及不足	第44-45页
·本章小结	第45-46页
3 与CMOS工艺兼容的钨微热板设计	第46-62页
·引言	第46页
·经典的微热板设计	第46-48页
·结构设计	第46-47页
·材料选择	第47-48页
·钨微热板的设计	第48-50页
·钨微热板的加工	第50-57页
·钨微热板的CMOS加工	第50-53页
·钨微热板的Post-CMOS加工	第53-56页
·快速判断微热板牺牲层腐蚀结束	第56-57页
·钨微热板的照片	第57页
·钨微热板的参数测试	第57-61页
·钨的方块电阻测量	第57-59页
·钨微热板的电阻测量	第59-60页
·钨的温度系数测量	第60页
·钨微热板的热阻测量	第60-61页
·本章小结	第61-62页
4 集成皮拉尼真空传感器系统的设计	第62-90页
·引言	第62页
·传感器系统的功能及架构	第62-63页
·传感器阵列化及其驱动电路	第63-68页
·传感器的阵列化	第63页
·传感器的驱动电路	第63-67页
·传感器的温度补偿	第67-68页
·集成运算放大器的设计	第68-72页
·以IP硬核引入的AD变换器	第72-73页
·数字电路的功能	第73-75页
·数字集成电路的设计方法	第73-74页
·数字集成电路的功能	第74-75页
·数字电路的设计	第75-87页
·寄存器级描述	第75-80页
·功能验证	第80-82页
·综合产生网表	第82-84页
·静态时序分析	第84-85页
·数字电路的布局、布线	第85-87页
·传感器系统的集成	第87-88页
·本章小结	第88-90页
5 传感器系统的测试及分析	第90-107页
·引言	第90页
·传感器芯片及真空测试系统	第90-93页
·传感器系统及测试电路板的照片	第90-91页
·测试系统的搭建	第91-92页
·真空腔内的温度说明	第92-93页
·运算放大器的测试	第93-96页
·传感器对气压的响应	第96-99页
·传感器的满量程输出	第96-97页
·传感器的迟滞	第97页
·传感器的线性区间及灵敏度分析	第97-99页
·影响传感器输出的因素	第99-102页
·加工工艺偏差的影响	第99-100页
·环境温度的影响	第100页
·气体种类的影响	第100-102页
·传感器的长期稳定性	第102页
·数字电路的测试	第102-105页
·AD变换器、EEPROM的读取	第103页
·与外部处理器接口电路的测试	第103-104页
·显示功能的测试	第104-105页
·传感器系统的功耗测量	第105-106页
·本章小结	第106-107页
结论	第107-109页
创新点摘要	第109-110页
参考文献	第110-117页
攻读博士学位期间发表学术论文情况	第117-118页
致谢	第118-119页
作者简介	第119-121页