| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-26页 |
| 1.1 引言 | 第12-15页 |
| 1.2 物理气相沉积(PVD) | 第15-20页 |
| 1.2.1 PVD概述 | 第15-18页 |
| 1.2.2 涂层生长与涂层结构 | 第18-20页 |
| 1.3 硬质涂层 | 第20-26页 |
| 1.3.1 硬质涂层的定义 | 第20页 |
| 1.3.2 硬质防护涂层 | 第20-21页 |
| 1.3.3 硬质涂层的分类 | 第21-22页 |
| 1.3.4 研究思路 | 第22-24页 |
| 1.3.5 实验方案 | 第24-26页 |
| 第二章 涂层的制备与分析测试设备及方法 | 第26-39页 |
| 2.1 涂层的制备 | 第26-29页 |
| 2.1.1 磁控溅射设备 | 第26页 |
| 2.1.2 实验原材料 | 第26-27页 |
| 2.1.3 制备工艺 | 第27-29页 |
| 2.2 涂层表征方法 | 第29-33页 |
| 2.2.1 能谱分析(EDAX) | 第29页 |
| 2.2.2 X射线衍射(XRD) | 第29-30页 |
| 2.2.3 扫描电镜(SEM) | 第30-31页 |
| 2.2.4 原子力显微镜(AFM) | 第31-32页 |
| 2.2.5 表面轮廓仪 | 第32-33页 |
| 2.3 性能测试仪器及方法 | 第33-39页 |
| 2.3.1 纳米压痕仪 | 第33-35页 |
| 2.3.2 划痕仪 | 第35-36页 |
| 2.3.3 维氏压痕仪 | 第36-37页 |
| 2.3.4 摩擦磨损测试机 | 第37-39页 |
| 第三章 WS_2/TiB_2固体润滑涂层的成分和结构分析 | 第39-46页 |
| 3.1 WS_2/TiB_2成分和物相分析 | 第39-42页 |
| 3.1.1 EDS表征 | 第39-40页 |
| 3.1.2 XRD结构表征 | 第40-42页 |
| 3.2 生长结构 | 第42-44页 |
| 3.2.1 AFM表面形貌表征 | 第42页 |
| 3.2.2 SEM截面形貌表征 | 第42-44页 |
| 3.3 本章小结 | 第44-46页 |
| 第四章 涂层的变形行为表征 | 第46-56页 |
| 4.1 硬度和模量测试 | 第46-47页 |
| 4.1.1 概述 | 第46页 |
| 4.1.2 硬度和模量 | 第46-47页 |
| 4.2 涂层的韧性表征 | 第47-53页 |
| 4.2.1 韧性概述 | 第47-48页 |
| 4.2.2 压痕 | 第48-52页 |
| 4.2.3 纳米划痕 | 第52-53页 |
| 4.3 结合力测试 | 第53-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-56页 |
| 第五章 摩擦学性能 | 第56-66页 |
| 5.1 摩擦磨损机制与模型 | 第56-58页 |
| 5.1.1 摩擦磨损作用区域 | 第56页 |
| 5.1.2 对偶及载荷对摩擦磨损的影响 | 第56-57页 |
| 5.1.3 摩擦磨损的经典理论模式 | 第57-58页 |
| 5.2 摩擦磨损测试 | 第58-65页 |
| 5.2.1 干摩擦2N | 第59-61页 |
| 5.2.2 不同湿度摩擦测试 | 第61-62页 |
| 5.2.3 高湿度下不同载荷摩擦测试 | 第62页 |
| 5.2.4 磨损率 | 第62-64页 |
| 5.2.5 磨痕分析 | 第64-65页 |
| 5.3 本章小结 | 第65-66页 |
| 第六章 结论与展望 | 第66-68页 |
| 6.1 结论 | 第66-67页 |
| 6.2 展望 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 附录A：攻读学位期间科研产出 | 第73页 |