| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-12页 |
| 1.2 热释电探测器研究进展 | 第12-14页 |
| 1.3 本文主要研究内容及研究意义 | 第14-16页 |
| 1.3.1 本文主要研究内容 | 第14-15页 |
| 1.3.2 研究意义 | 第15-16页 |
| 第二章 热释电红外探测器与仿真方法 | 第16-24页 |
| 2.1 热释电效应与压电效应 | 第16-17页 |
| 2.1.1 热释电效应 | 第16-17页 |
| 2.1.2 压电效应 | 第17页 |
| 2.2 PVDF热释电敏感薄膜 | 第17-18页 |
| 2.3 热释电探测器工作原理及性能参数 | 第18-21页 |
| 2.3.1 热释电探测器工作原理 | 第18-20页 |
| 2.3.2 热释电探测器主要性能参数 | 第20-21页 |
| 2.4 热释电探测器敏感元结构 | 第21-22页 |
| 2.5 仿真方法概述 | 第22-23页 |
| 2.6 本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 单元器件敏感元结构仿真设计 | 第24-42页 |
| 3.1 敏感单元热学性能二维仿真分析 | 第24-32页 |
| 3.1.1 不具有微结构敏感元热学性能仿真分析 | 第24-26页 |
| 3.1.2 垂直壁沟槽结构热学性能仿真分析 | 第26-29页 |
| 3.1.3 倾斜壁沟槽结构热学性能仿真分析 | 第29-32页 |
| 3.2 敏感单元热学性能三维仿真分析 | 第32-39页 |
| 3.2.1 不具有微结构敏感元热学性能三维仿真分析 | 第32-34页 |
| 3.2.2 倾斜壁沟槽结构热学性能三维仿真分析 | 第34-36页 |
| 3.2.3 倾斜壁矩形坑结构热学性能三维仿真分析 | 第36-39页 |
| 3.3 敏感单元结构参数优化 | 第39-41页 |
| 3.3.1 倾斜壁角度对热学性能的影响 | 第39-40页 |
| 3.3.2 表面结构尺寸与间隔对热学性能的影响 | 第40-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 单元器件支撑结构的仿真设计 | 第42-56页 |
| 4.1 .热释电敏感元的微音效应 | 第42-43页 |
| 4.2 敏感元结构对表面应力的影响 | 第43-45页 |
| 4.3 支撑结构对敏感元表面应力的影响 | 第45-46页 |
| 4.4 衬底整体支撑结构 | 第46-50页 |
| 4.4.1 衬底整体支撑结构对微音效应的抑制 | 第46-47页 |
| 4.4.2 衬底整体支撑结构的热学性能 | 第47-50页 |
| 4.5 五支撑柱结构 | 第50-55页 |
| 4.5.1 五支撑柱结构对微音效应的抑制 | 第50-52页 |
| 4.5.2 五支撑柱结构参数优化 | 第52-53页 |
| 4.5.3 五支撑柱结构的热学性能 | 第53-55页 |
| 4.6 本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 柔性热释电探测器的制备 | 第56-71页 |
| 5.1 实验材料及仪器 | 第56-57页 |
| 5.2 PVDF薄膜的制备 | 第57-63页 |
| 5.2.1 模具的制备 | 第57-59页 |
| 5.2.2 流延法制备薄膜 | 第59-61页 |
| 5.2.3 刮膜法制备薄膜 | 第61-63页 |
| 5.3 PVDF薄膜形貌测试 | 第63-65页 |
| 5.3.1 薄膜表面结构质量 | 第63-64页 |
| 5.3.2 薄膜表面结构尺寸测试 | 第64-65页 |
| 5.4 电极制作与热极化 | 第65-66页 |
| 5.4.1 电极制作 | 第65-66页 |
| 5.4.2 热极化处理 | 第66页 |
| 5.5 器件响应率测试 | 第66-70页 |
| 5.5.1 测试系统搭建 | 第66-67页 |
| 5.5.2 响应率测试 | 第67-70页 |
| 5.6 本章小结 | 第70-71页 |
| 第六章 总结与展望 | 第71-73页 |
| 6.1 主要结论 | 第71-72页 |
| 6.2 前景展望 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第78页 |