微波等离子清洗控制系统及工艺的研究和设计
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第一章 绪论 | 第7-11页 |
| 1.1 课题背景 | 第7页 |
| 1.2 国内外现状 | 第7-9页 |
| 1.3 课题意义 | 第9-10页 |
| 1.4 论文的主要内容 | 第10-11页 |
| 第二章 等离子清洗原理及其特点 | 第11-17页 |
| 2.1 等离子体概念及特性 | 第11-12页 |
| 2.2 等离子清洗原理 | 第12-13页 |
| 2.3 微波等离子清洗的特点 | 第13-14页 |
| 2.4 微波等离子清洗应用 | 第14-15页 |
| 2.5 本章小结 | 第15-17页 |
| 第三章 微波等离子清洗工艺流程设计 | 第17-21页 |
| 3.1 主要工艺参数 | 第17页 |
| 3.2 表面黏附性 | 第17-19页 |
| 3.3 微波等离子清洗工艺流程设计 | 第19-20页 |
| 3.4 本章小结 | 第20-21页 |
| 第四章 微波等离子清洗机设计 | 第21-39页 |
| 4.1 微波等离子清洗设机的基本要求 | 第21页 |
| 4.2 系统结构设计 | 第21-26页 |
| 4.2.1 总体设计 | 第21-22页 |
| 4.2.2 真空系统结构设计 | 第22-24页 |
| 4.2.3 微波放电系统 | 第24-25页 |
| 4.2.4 控制系统 | 第25页 |
| 4.2.5 供气系统 | 第25-26页 |
| 4.3 微波等离子清洗模式 | 第26-30页 |
| 4.3.1 顺流及旋转清洗模式原理 | 第27页 |
| 4.3.2 ECR 清洗模式原理 | 第27-30页 |
| 4.4 需要解决的关键技术 | 第30页 |
| 4.4.1 微波传输中提高微波放电效率的方法 | 第30页 |
| 4.4.2 微波源与负载的匹配 | 第30页 |
| 4.5 可靠性设计 | 第30-37页 |
| 4.6 本章小结 | 第37-39页 |
| 第五章 清洗机控制系统设计 | 第39-55页 |
| 5.1 微波等离子清洗机控制系统基本要求 | 第39页 |
| 5.2 控制系统设计方案 | 第39-40页 |
| 5.3 工控机端系统设计 | 第40-42页 |
| 5.4 PLC 控制系统设计 | 第42-53页 |
| 5.4.1 功能要求及 PLC 选型 | 第42-45页 |
| 5.4.2 真空系统设计 | 第45-47页 |
| 5.4.3 供气系统设计 | 第47-48页 |
| 5.4.4 旋转系统设计 | 第48-50页 |
| 5.4.5 微波放电系统设计 | 第50-51页 |
| 5.4.6 PLC 软件流程 | 第51-53页 |
| 5.5 本章小结 | 第53-55页 |
| 第六章 试验数据分析及优化 | 第55-63页 |
| 6.1 正交试验法优选微波等离子清洗工艺 | 第55-60页 |
| 6.1.1 实验数据采集 | 第55-56页 |
| 6.1.2 实验数据处理 | 第56-60页 |
| 6.1.3 试验结论 | 第60页 |
| 6.2 接触角检测 | 第60-61页 |
| 6.3 本章小结 | 第61-63页 |
| 第七章 结论与展望 | 第63-65页 |
| 7.1 结论 | 第63页 |
| 7.2 技术平台的建设 | 第63-64页 |
| 7.3 微波等离子清洗展望 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-69页 |
| 在读期间的研究成果 | 第69-70页 |
