微纳米CMM的系统测试研究
| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9页 |
| 第一章 绪论 | 第16-24页 |
| 1.1 概述 | 第16-17页 |
| 1.2 微纳米三坐标测量机的国内外研究现状 | 第17-20页 |
| 1.3 高精密恒温箱的国内外研究进展 | 第20-22页 |
| 1.4 课题来源、研究内容及意义 | 第22-24页 |
| 1.4.1 课题来源 | 第23页 |
| 1.4.2 研究意义及内容 | 第23-24页 |
| 第二章 微纳米三坐标测量机的系统结构及特点 | 第24-33页 |
| 2.1 微纳米三坐标测量机系统组成 | 第24-30页 |
| 2.1.1 机台结构 | 第25页 |
| 2.1.2 测长系统 | 第25-26页 |
| 2.1.3 驱动系统 | 第26-27页 |
| 2.1.4 三维运动工作台系统 | 第27-28页 |
| 2.1.5 测头系统 | 第28-29页 |
| 2.1.6 测量软件 | 第29-30页 |
| 2.2 结构特点 | 第30-31页 |
| 2.3 控制流程 | 第31-33页 |
| 第三章 高精密恒温箱系统结构 | 第33-45页 |
| 3.1 分离式恒温箱系统概述 | 第33-36页 |
| 3.1.1 分离式恒温箱结构 | 第33-34页 |
| 3.1.2 分离式恒温箱具体布置 | 第34-36页 |
| 3.2 高精密恒温箱温度控制系统硬件设计 | 第36-42页 |
| 3.2.1 温度测量系统 | 第37-38页 |
| 3.2.2 制冷模块 | 第38-42页 |
| 3.2.3 空气循环系统 | 第42页 |
| 3.3 高精密恒温箱温度控制软件设计 | 第42-45页 |
| 3.3.1 系统软件功能 | 第42-43页 |
| 3.3.2 LabVIEW控制算法程序实现 | 第43-45页 |
| 第四章 恒温箱数学模型与控制算法的设计 | 第45-53页 |
| 4.1 恒温箱数学模型的建立与仿真 | 第45-47页 |
| 4.2 PID控制 | 第47-51页 |
| 4.2.1 PID控制原理 | 第47-48页 |
| 4.2.2 数字式PID控制器 | 第48-51页 |
| 4.2.3 恒温箱系统PID控制参数仿真 | 第51页 |
| 4.3 恒温箱温度测试实验 | 第51-53页 |
| 第五章 微纳米三坐标测量机系统测试 | 第53-64页 |
| 5.1 微纳米三坐标测量机的稳定性测试实验 | 第53-59页 |
| 5.1.1 激光回馈干涉仪和探头传感器的漂移实验 | 第53-58页 |
| 5.1.2 主轴定点重复性实验 | 第58-59页 |
| 5.2 量块平面度测量实验 | 第59-60页 |
| 5.3 量块台阶高度测量实验 | 第60-62页 |
| 5.4 测端等效直径的测量及误差分析 | 第62-64页 |
| 第六章 研究总结与工作展望 | 第64-66页 |
| 6.1 研究总结 | 第64页 |
| 6.2 工作展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-68页 |
| 攻读硕士期间研究成果 | 第68页 |
