紫外LED曝光机光学系统设计
| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第15-19页 |
| 1.1 研究背景 | 第15-18页 |
| 1.2 研究目的 | 第18页 |
| 1.3 研究内容 | 第18-19页 |
| 第2章 非成像光学系统 | 第19-25页 |
| 2.1 非成像光学理论 | 第19-20页 |
| 2.2 非成像光学系统与成像光学系统 | 第20-21页 |
| 2.3 非成像光学常用参数 | 第21-23页 |
| 2.4 非成像光学系统的组成 | 第23-25页 |
| 第3章 光线追迹和LightTools软件介绍 | 第25-31页 |
| 3.1 光线追迹 | 第25-26页 |
| 3.2 LightTools光学软件 | 第26-31页 |
| 3.2.1 LightTools光学软件介绍 | 第26-27页 |
| 3.2.2 LightTools光学软件仿真举例 | 第27-31页 |
| 第4章 光学系统设计及仿真结果分析 | 第31-71页 |
| 4.1 光学系统一 | 第31-42页 |
| 4.1.1 光学系统一设计思路 | 第31页 |
| 4.1.2 光学系统一计算 | 第31-37页 |
| 4.1.3 模拟仿真 | 第37-41页 |
| 4.1.4 仿真结果分析 | 第41-42页 |
| 4.2 光学系统二 | 第42-49页 |
| 4.2.1 光学系统二设计思路 | 第42页 |
| 4.2.2 光学系统二计算 | 第42-44页 |
| 4.2.3 模拟仿真 | 第44-49页 |
| 4.2.4 仿真结果分析 | 第49页 |
| 4.3 光学系统三 | 第49-61页 |
| 4.3.1 光学系统三设计思路 | 第49页 |
| 4.3.2 光学系统三计算 | 第49-51页 |
| 4.3.3 模拟仿真 | 第51-58页 |
| 4.3.4 光学系统三理论分析 | 第58-61页 |
| 4.4 光学系统四 | 第61-69页 |
| 4.4.1 光学系统四设计思路 | 第61-62页 |
| 4.4.2 光学系统四仿真和优化 | 第62-69页 |
| 4.5 光学系统原型设计 | 第69-71页 |
| 结论 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-74页 |
| 附录 | 第74-83页 |
| 致谢 | 第83页 |
