| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 前言 | 第8-20页 |
| 1.1 电介质材料 | 第8页 |
| 1.2 SrTiO_3介电材料 | 第8-13页 |
| 1.2.1 STO薄膜的结构与性能特点 | 第8-9页 |
| 1.2.2 STO介电薄膜的应用 | 第9-11页 |
| 1.2.3 介电薄膜的性能要求 | 第11-13页 |
| 1.3 SrTiO_3薄膜研究现状 | 第13-16页 |
| 1.3.1 热处理对薄膜结构和性能的影响 | 第13-14页 |
| 1.3.2 取向度对薄膜结构及性能的影响 | 第14-15页 |
| 1.3.3 电极材料的影响 | 第15-16页 |
| 1.4 LaNiO_3电极材料 | 第16页 |
| 1.5 感光溶胶-凝胶法制备微细图形的技术 | 第16-17页 |
| 1.6 本文研究目的与意义 | 第17-18页 |
| 1.7 本文主要研究内容 | 第18-20页 |
| 2 薄膜制备与分析表征 | 第20-26页 |
| 2.1 实验思路及方案 | 第20页 |
| 2.2 实验所用化学试剂 | 第20-21页 |
| 2.3 实验仪器设备 | 第21-26页 |
| 2.3.1 薄膜制备设备 | 第21-22页 |
| 2.3.2 薄膜表征手段 | 第22-26页 |
| 3 Pt/STO/LNO复合结构的制备及性能研究 | 第26-44页 |
| 3.1 引言 | 第26页 |
| 3.2 LNO薄膜的制备与分析 | 第26-29页 |
| 3.2.1 LNO溶胶的配置 | 第26-27页 |
| 3.2.2 LNO薄膜的制备 | 第27-29页 |
| 3.3 STO/LNO复合薄膜的结构及形貌表征 | 第29-38页 |
| 3.3.1 STO/LNO的制备 | 第29-31页 |
| 3.3.2 STO/LNO的面外织构分析 | 第31-32页 |
| 3.3.3 STO/LNO的面内织构分析 | 第32-37页 |
| 3.3.4 STO/LNO的SEM分析 | 第37-38页 |
| 3.4 Pt/STO/LNO介电调谐性能研究 | 第38-41页 |
| 3.5 Pt/STO/LNO介电温谱测试分析 | 第41-42页 |
| 3.6 本章小结 | 第42-44页 |
| 4 LNO/STO/LNO复合结构的制备及性能分析 | 第44-58页 |
| 4.1 引言 | 第44页 |
| 4.2 LNO薄膜图形化研究 | 第44-48页 |
| 4.2.1 LNO感光溶胶的配置 | 第45页 |
| 4.2.2 LNO凝胶膜感光特性分析 | 第45-46页 |
| 4.2.3 LNO微细图形的制备及表征 | 第46-48页 |
| 4.3 LNO/STO/LNO的介电调谐性能研究 | 第48-51页 |
| 4.4 STO/LNO介电性能机理分析 | 第51-56页 |
| 4.4.1 Pt/STO/LNO的J-V特性分析 | 第51-54页 |
| 4.4.2 LNO/STO/LNO的J-V特性分析 | 第54-56页 |
| 4.5 本章小结 | 第56-58页 |
| 5 结论 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-68页 |
| 作者攻读硕士期间发表的论文 | 第68页 |