基于像散原理的薄膜厚度测量系统设计与实现
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 课题研究背景与意义 | 第9页 |
| 1.2 薄膜厚度测量方法及国内外研究现状 | 第9-18页 |
| 1.2.1 非光学方法 | 第10-12页 |
| 1.2.2 光学方法 | 第12-17页 |
| 1.2.3 存在问题及分析 | 第17-18页 |
| 1.3 本文主要研究内容及章节安排 | 第18-20页 |
| 2 像散位移传感器设计与实现 | 第20-35页 |
| 2.1 像散位移测量原理 | 第20-23页 |
| 2.2 像散位移传感器设计方案 | 第23-24页 |
| 2.3 像散位移传感器硬件设计 | 第24-27页 |
| 2.3.1 电源电路设计 | 第25-26页 |
| 2.3.2 信号放大电路设计 | 第26-27页 |
| 2.4 像散位移传感器软件设计 | 第27-30页 |
| 2.4.1 数据采集模块设计 | 第28-29页 |
| 2.4.2 数据传输模块设计 | 第29-30页 |
| 2.5 像散位移传感器实现 | 第30-31页 |
| 2.6 像散位移传感器实验与分析 | 第31-34页 |
| 2.6.1 实验装置 | 第31页 |
| 2.6.2 传感器标定实验 | 第31-33页 |
| 2.6.3 传感器位移测量精度实验 | 第33-34页 |
| 2.7 本章小结 | 第34-35页 |
| 3 薄膜厚度测量系统设计与实现 | 第35-49页 |
| 3.1 系统设计目标及技术指标 | 第35页 |
| 3.2 薄膜厚度测量方案设计 | 第35-38页 |
| 3.2.1 扫描式薄膜厚度测量方案 | 第35-36页 |
| 3.2.2 阵列式薄膜厚度测量方案 | 第36-38页 |
| 3.2.3 方案对比及分析 | 第38页 |
| 3.3 扫描式薄膜厚度测量方案误差分析与校正 | 第38-42页 |
| 3.4 双传感器扫描式薄膜厚度测量系统设计 | 第42-48页 |
| 3.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 4 薄膜厚度测量系统实验与分析 | 第49-58页 |
| 4.1 直线运动平台随机抖动误差实验 | 第49-50页 |
| 4.2 双传感器验证运动平台抖动误差一致性实验 | 第50-53页 |
| 4.3 系统重复测量精度对比实验 | 第53-56页 |
| 4.4 薄膜厚度测量实验 | 第56-57页 |
| 4.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 总结 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
