| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-25页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的与意义 | 第9-11页 |
| 1.2 微尺寸测量的研究现状 | 第11-23页 |
| 1.2.1 微尺度测量技术与方法国内外研究现状 | 第11-21页 |
| 1.2.2 本领域存在的科学问题和关键技术问题 | 第21-23页 |
| 1.3 课题的主要研究内容 | 第23-25页 |
| 第2章 二维正交光纤微焦准直传感器的总体设计与特性分析 | 第25-36页 |
| 2.1 引言 | 第25页 |
| 2.2 现有基于微焦准直的微深内腔传感器的瓶颈 | 第25-26页 |
| 2.3 二维正交光纤微焦准直传感器的总体设计 | 第26-31页 |
| 2.3.1 二维正交光纤微焦准直传感器的总体方案 | 第26页 |
| 2.3.2 快速内腔测量方案 | 第26-28页 |
| 2.3.3 光纤探针测杆位移传递特性分析 | 第28-31页 |
| 2.4 传感器误差模型分析 | 第31-35页 |
| 2.4.1 二维正交光路垂直度误差分析 | 第31-32页 |
| 2.4.2 光纤测杆倾斜的误差分析 | 第32-35页 |
| 2.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 第3章 光纤微焦准直传感的光路模型分析 | 第36-54页 |
| 3.1 引言 | 第36页 |
| 3.2 基于光线理论的光路模型分析 | 第36-43页 |
| 3.2.1 微焦准直光路传播模型 | 第36-39页 |
| 3.2.2 微焦准直光路二维离焦传感模型 | 第39-43页 |
| 3.3 不同形式的点光源 | 第43-47页 |
| 3.3.1 点光源 | 第43-45页 |
| 3.3.2 环形点光源 | 第45-47页 |
| 3.4 光纤微焦准直传感模型的仿真分析 | 第47-53页 |
| 3.4.1 微焦准直传感模型仿真 | 第47-48页 |
| 3.4.2 点光源微焦准直传感光路仿真分析 | 第48-50页 |
| 3.4.3 环形点光源微焦准直传感光路仿真分析 | 第50-53页 |
| 3.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 第4章 基于二维正交光纤微焦准直模型的位移传感特性仿真分析 | 第54-65页 |
| 4.1 引言 | 第54页 |
| 4.2 一维光纤微焦准直传感模型的位移传感特性 | 第54-60页 |
| 4.2.1 点光源微焦准直传感光路的位移传感特性 | 第54-56页 |
| 4.2.2 环形点光源微焦准直传感光路的位移传递特性 | 第56-57页 |
| 4.2.3 准直像条纹提取法 | 第57-60页 |
| 4.3 二维正交光纤微焦准直传感模型的仿真分析 | 第60-64页 |
| 4.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 第5章 二维正交光纤微焦准直传感器的性能实验 | 第65-76页 |
| 5.1 引言 | 第65页 |
| 5.2 基于反射式物镜的微焦准直传感器 | 第65-69页 |
| 5.2.1 基于不同形式物镜的微焦准直传感器的准直像 | 第65-66页 |
| 5.2.2 基于反射式物镜的微焦准直像的条纹提取算法 | 第66-68页 |
| 5.2.3 实验装置组成 | 第68-69页 |
| 5.3 基于反射式物镜的微焦准直传感器的性能实验 | 第69-75页 |
| 5.3.1 一维微焦准直传感器静态稳定性实验 | 第69-70页 |
| 5.3.2 一维微焦准直传感器分辨力实验 | 第70-71页 |
| 5.3.3 二维微焦准直传感器分辨力实验 | 第71-73页 |
| 5.3.4 微焦准直传感器触测重复性实验 | 第73-75页 |
| 5.4 本章小结 | 第75-76页 |
| 结论 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其他成果 | 第82-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
