单片三轴微加速度计结构设计与加工工艺优化
| 摘要 | 第10-11页 |
| ABSTRACT | 第11页 |
| 第一章 绪论 | 第12-22页 |
| 1.1 课题的研究背景与意义 | 第12-13页 |
| 1.2 单片三轴微加速度计研究现状 | 第13-18页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第13-16页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第16-18页 |
| 1.3 本实验室研究成果 | 第18-20页 |
| 1.4 本文主要工作内容 | 第20-22页 |
| 第二章 单片三轴微加速度计总体结构优化设计 | 第22-34页 |
| 2.1 单片三轴微加速度计总体结构及工作原理 | 第22-24页 |
| 2.1.1 总体结构 | 第22-23页 |
| 2.1.2 工作原理 | 第23-24页 |
| 2.2 单个检测单元优化设计 | 第24-28页 |
| 2.2.1 单个检测单元静态特性分析 | 第25-26页 |
| 2.2.2 单个检测单元尺寸优化 | 第26-28页 |
| 2.3 整体结构优化设计 | 第28-29页 |
| 2.4 应力释放结构优化设计 | 第29-31页 |
| 2.4.1 结构应力的产生机理和影响 | 第29-30页 |
| 2.4.2 应力释放结构设计 | 第30-31页 |
| 2.5 匹配电容设计 | 第31-32页 |
| 2.6 新型玻璃 -硅 -玻璃三层结构设计 | 第32-33页 |
| 2.7 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 单片三轴微加速度计加工工艺优化设计 | 第34-41页 |
| 3.1 目前的微加速度计加工工艺简述 | 第34-35页 |
| 3.1.1 普通双面湿法腐蚀加工工艺 | 第34页 |
| 3.1.2 双面预埋湿法腐蚀加工工艺 | 第34-35页 |
| 3.2 玻璃-硅-玻璃三层机构匹配工艺优化设计 | 第35-40页 |
| 3.2.1 双面对称腐蚀加工工艺 | 第35-36页 |
| 3.2.2 侧蚀补偿方法 | 第36-37页 |
| 3.2.3 45°倾角条形补偿方法 | 第37页 |
| 3.2.4 防吸附结构设计 | 第37-38页 |
| 3.2.5 三层键合工艺 | 第38-40页 |
| 3.3 本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 单片三轴微加速度计测控系统设计 | 第41-47页 |
| 4.1 微加速度计差分电容信号检测原理 | 第41-43页 |
| 4.2 单片三轴检测电路系统设计 | 第43-46页 |
| 4.2.1 常用检测电路简述 | 第43-44页 |
| 4.2.2 本文三轴微加速度计检测电路设计 | 第44-46页 |
| 4.3 本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 单片三轴微加速度计的标定与解耦算法 | 第47-55页 |
| 5.1 理想单片三轴微加速度计标定与解耦算法 | 第47-49页 |
| 5.2 本实验室标定与解耦算法研究成果 | 第49页 |
| 5.3 本文标定与解耦算法优化 | 第49-54页 |
| 5.3.1 误差分析 | 第50页 |
| 5.3.2 标定算法 | 第50-53页 |
| 5.3.3 解耦算法 | 第53-54页 |
| 5.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 第六章 单片三轴微加速度计的测试 | 第55-63页 |
| 6.1 原理样机及测试系统简介 | 第55页 |
| 6.2 标定和解耦模型的建立 | 第55-58页 |
| 6.2.1 标定实验 | 第56-57页 |
| 6.2.2 解耦模型建立 | 第57-58页 |
| 6.3 基本性能测试 | 第58-62页 |
| 6.3.1 标度因数稳定性测试 | 第58-59页 |
| 6.3.2 交叉轴灵敏度 | 第59页 |
| 6.3.3 1g稳定性测试 | 第59-61页 |
| 6.3.4 启动时间测试 | 第61页 |
| 6.3.5 改进前后加速度计性能对比 | 第61-62页 |
| 6.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 第七章 总结与展望 | 第63-65页 |
| 7.1 全文总结 | 第63页 |
| 7.2 工作展望 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-71页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第71页 |
| (一)学术论文 | 第71页 |
| (二)参与的科研项目 | 第71页 |
