| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目录 | 第10-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-29页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第13-15页 |
| 1.2 国外研究现状 | 第15-22页 |
| 1.3 国内研究现状 | 第22-27页 |
| 1.4 论文的主要内容及章节安排 | 第27-29页 |
| 第2章 中心偏差测量数学模型与最佳光轴算法 | 第29-53页 |
| 2.1 中心偏差定义 | 第29-31页 |
| 2.2 中心偏差测量方法 | 第31-39页 |
| 2.2.1 干涉测量法 | 第31-35页 |
| 2.2.2 自准直成像法 | 第35-39页 |
| 2.3 镜组中心偏差测量数学模型 | 第39-46页 |
| 2.3.1 单个折射球面近轴成像 | 第39-41页 |
| 2.3.2 多个折射球面近轴成像 | 第41-42页 |
| 2.3.3 中心偏差测量数学模型 | 第42-46页 |
| 2.4 最佳光轴算法 | 第46-51页 |
| 2.5 小结 | 第51-53页 |
| 第3章 高精度定心仪光机系统方案设计 | 第53-73页 |
| 3.1 系统参数及主要组成部分 | 第53-55页 |
| 3.1.1 定心仪系统参数 | 第53-54页 |
| 3.1.2 系统主要组成部分 | 第54-55页 |
| 3.2 测量头设计 | 第55-67页 |
| 3.2.1 显微物镜设计 | 第56-60页 |
| 3.2.2 内调焦系统设计 | 第60-64页 |
| 3.2.3 测量头主光路设计 | 第64-67页 |
| 3.3 照明系统设计 | 第67-71页 |
| 3.3.1 基本照明方式 | 第67-68页 |
| 3.3.2 照明系统结构 | 第68-70页 |
| 3.3.3 能量计算与光源选择 | 第70-71页 |
| 3.4 小结 | 第71-73页 |
| 第4章 联合变换相关定心算法研究 | 第73-101页 |
| 4.1 傅里叶光学基础 | 第73-75页 |
| 4.1.1 傅里叶变换及其性质 | 第73-75页 |
| 4.1.2 傅里叶光学 | 第75页 |
| 4.2 基于联合变换相关原理的图像位移探测 | 第75-83页 |
| 4.2.1 基于经典联合变换相关原理图像位移探测 | 第76-80页 |
| 4.2.2 基于双相位编码联合变换相关原理图像位移探测 | 第80-83页 |
| 4.3 图像增强技术 | 第83-92页 |
| 4.3.1 输入图像增强技术 | 第83-90页 |
| 4.3.2 功率谱增强技术 | 第90-92页 |
| 4.4 双相位编码技术与图像增强技术结合 | 第92-94页 |
| 4.5 基于联合变换相关的中心偏差测量方法 | 第94-99页 |
| 4.5.1 中心偏差的测量 | 第94-96页 |
| 4.5.2 仿真实验 | 第96-99页 |
| 4.6 小结 | 第99-101页 |
| 第5章 误差分析与实验 | 第101-115页 |
| 5.1 误差分析 | 第101-107页 |
| 5.1.1 轴系误差 | 第101-103页 |
| 5.1.2 放大倍率误差 | 第103-104页 |
| 5.1.3 数据处理误差 | 第104页 |
| 5.1.4 光学系统误差 | 第104-106页 |
| 5.1.5 环境误差 | 第106-107页 |
| 5.2 系统重复性评定实验 | 第107-109页 |
| 5.3 基于联合变换相关原理定心技术验证实验 | 第109-113页 |
| 5.3.1 基于联合变换相关的中心偏差测量 | 第110-113页 |
| 5.3.2 对比实验 | 第113页 |
| 5.4 结论 | 第113-115页 |
| 第6章 总结与展望 | 第115-119页 |
| 6.1 总结 | 第115-116页 |
| 6.2 创新点 | 第116页 |
| 6.3 展望 | 第116-119页 |
| 参考文献 | 第119-127页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第127-129页 |
| 指导教师及作者简介 | 第129-131页 |
| 致谢 | 第131页 |