| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 目录 | 第9-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-31页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第13-15页 |
| 1.2 相关领域的研究现状 | 第15-28页 |
| 1.2.1 光栅刻划机的国内外发展现状 | 第15-20页 |
| 1.2.2 光栅刻划机刻槽误差补偿方法的国内外研究现状 | 第20-26页 |
| 1.2.3 双频激光干涉仪发展现状 | 第26-28页 |
| 1.3 论文的主要研究内容及结构安排 | 第28-31页 |
| 1.3.1 论文的主要研究内容 | 第28-29页 |
| 1.3.2 论文的结构安排 | 第29-31页 |
| 第2章 光栅刻划机工作原理及误差分析 | 第31-47页 |
| 2.1 引言 | 第31页 |
| 2.2 光栅刻划机主要工作原理 | 第31-40页 |
| 2.2.1 光栅刻划机不同的运行方式 | 第31-34页 |
| 2.2.2 光栅刻划机刻划系统工作原理 | 第34-35页 |
| 2.2.3 光栅刻划机分度系统工作原理 | 第35-36页 |
| 2.2.4 光栅刻划机位移误差测量方法 | 第36-40页 |
| 2.3 光栅刻槽误差的主要影响因素及分析方法 | 第40-45页 |
| 2.3.1 光栅刻槽误差的主要影响因素 | 第40-44页 |
| 2.3.2 光栅刻划机刻槽误差分析方法 | 第44-45页 |
| 2.4 本章小结 | 第45-47页 |
| 第3章 光栅刻划刀架系统的结构改进与运行精度分析 | 第47-65页 |
| 3.1 引言 | 第47-48页 |
| 3.2 非理想平面光栅傅里叶变换的理论模型及分析 | 第48-52页 |
| 3.2.1 理论模型 | 第48-50页 |
| 3.2.2 刻槽弯曲和位置误差对光栅光谱性能的影响分析 | 第50-52页 |
| 3.3 刻划刀架系统驱动方式的修正方法 | 第52-59页 |
| 3.3.1 刻划刀架系统驱动方式修正前结构及误差分析 | 第52-55页 |
| 3.3.2 刻划刀架系统修正后结构及误差分析 | 第55-57页 |
| 3.3.3 实验验证 | 第57-59页 |
| 3.4 刻划刀架系统运行稳定性的机械修正方法 | 第59-61页 |
| 3.4.1 刻划刀架系统改进前结构 | 第59-60页 |
| 3.4.2 刻划刀架系统改进后的结构设计 | 第60-61页 |
| 3.4.3 刻划刀架系统运行稳定性的光学测量方法 | 第61页 |
| 3.5 实验验证 | 第61-64页 |
| 3.6 本章小结 | 第64-65页 |
| 第4章 光栅刻划机工作台的摆角校正方法 | 第65-90页 |
| 4.1 引言 | 第65-66页 |
| 4.2 工作台摆角误差及其对光栅衍射波前质量的影响分析 | 第66-70页 |
| 4.2.1 工作台摆角误差来源 | 第66-68页 |
| 4.2.2 工作台摆角误差对光栅波前质量影响分析 | 第68-70页 |
| 4.3 双压电驱动器式工作台摆角校正原理及光路设计 | 第70-79页 |
| 4.3.1 双压电驱动器式工作台摆角校正原理 | 第70-71页 |
| 4.3.2 双压电驱动器式工作台结构设计 | 第71-72页 |
| 4.3.3 压电驱动器的工作原理及型号选取 | 第72-77页 |
| 4.3.4 工作台摆角测量光路的设计 | 第77-79页 |
| 4.4 工作台摆角校正能力的有限元仿真分析及设计 | 第79-84页 |
| 4.4.1 弹簧片的选择 | 第79-80页 |
| 4.4.2 拉簧封闭力选择 | 第80-82页 |
| 4.4.3 工作台内层台封闭力设计 | 第82-84页 |
| 4.5 实验验证 | 第84-88页 |
| 4.6 本章小结 | 第88-90页 |
| 第5章 光栅基底面形误差补偿技术 | 第90-103页 |
| 5.1 引言 | 第90页 |
| 5.2 机械刻划光栅基底承载基座的设计及优化 | 第90-93页 |
| 5.3 机械刻划光栅基底面形误差实时补偿数学模型 | 第93-96页 |
| 5.3.1 光栅基底面形误差数学模型的建立 | 第93-95页 |
| 5.3.2 光栅刻划误差数学模型的建立 | 第95-96页 |
| 5.3.3 建立光栅基底面形误差补偿模型 | 第96页 |
| 5.4 光栅基底面形误差补偿方法 | 第96-99页 |
| 5.4.1 光栅基底面形误差的提取 | 第96-97页 |
| 5.4.2 采用光栅刻槽主动控制技术实时校正光栅基底面形误差 | 第97-99页 |
| 5.5 实验验证 | 第99-101页 |
| 5.6 本章小结 | 第101-103页 |
| 第6章 光栅分辨本领实时监测技术 | 第103-117页 |
| 6.1 引言 | 第103-104页 |
| 6.2 衍射光栅光谱成像理论 | 第104-110页 |
| 6.2.1 Huygens原理的严格表达式 | 第104-105页 |
| 6.2.2 Huygens原理的近似公式 | 第105-108页 |
| 6.2.3 光栅光谱成像的傅里叶变换方法 | 第108-110页 |
| 6.3 光栅分辨本领求解方法及仿真分析 | 第110-113页 |
| 6.4 实验验证 | 第113-116页 |
| 6.5 本章小结 | 第116-117页 |
| 第7章 结论与展望 | 第117-120页 |
| 7.1 结论 | 第117-118页 |
| 7.2 展望 | 第118-120页 |
| 参考文献 | 第120-129页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第129-130页 |
| 指导教师及作者简介 | 第130-131页 |
| 致谢 | 第131-132页 |
