| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 课题背景 | 第10页 |
| 1.2 非晶硅薄膜太阳能电池 | 第10-12页 |
| 1.2.1 非晶硅薄膜太阳能电池的基本结构 | 第10-11页 |
| 1.2.2 非晶硅薄膜太阳能电池对TCO玻璃的性能要求 | 第11-12页 |
| 1.3 氧化钛薄膜的制备方法 | 第12-15页 |
| 1.3.1 物理气相沉积（physical vapour deposition） | 第12-13页 |
| 1.3.2 化学气相沉积（Chemical vapor deposition ） | 第13页 |
| 1.3.3 溶胶凝胶法（sol-gel） | 第13-14页 |
| 1.3.4 喷雾热解法 | 第14-15页 |
| 1.4 课题目的及意义 | 第15-17页 |
| 1.5 论文主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 实验方法及过程 | 第18-28页 |
| 2.1 实验药品及设备 | 第18页 |
| 2.2 实验流程 | 第18-20页 |
| 2.2.1 单因素多水平实验方案 | 第18-19页 |
| 2.2.2 镀膜液的制备 | 第19-20页 |
| 2.3 样品的制备 | 第20-21页 |
| 2.3.1 TiO_2/FTO双层膜玻璃的制备 | 第20页 |
| 2.3.2 实验装置图 | 第20-21页 |
| 2.3.3 雾化杯雾化原理 | 第21页 |
| 2.4 双层膜的氢等离子体处理 | 第21-22页 |
| 2.5 性能测试方法 | 第22-27页 |
| 2.5.1 X射线衍射仪分析 | 第23-24页 |
| 2.5.2 场发射扫描电镜(FESEM)分析 | 第24页 |
| 2.5.3 原子力显微镜(AFM)分析 | 第24-25页 |
| 2.5.4 雾度分析 | 第25页 |
| 2.5.5 薄膜方块电阻的测试 | 第25-26页 |
| 2.5.6 紫外可见光分光光度计分析薄膜光学性能 | 第26页 |
| 2.5.7 辉光放电光谱仪分析 | 第26-27页 |
| 2.5.8 差热分析 | 第27页 |
| 2.6 本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 FTO及TiO_2/FTO双层膜的光电性能分析 | 第28-54页 |
| 3.1 氢等离子体轰击对FTO薄膜性能的影响 | 第28-31页 |
| 3.1.1 氢等离子体轰击对FTO薄膜表面形貌的影响 | 第28-29页 |
| 3.1.2 氢等离子体处理前后FTO薄膜的XRD分析 | 第29-30页 |
| 3.1.3 氢等离子体处理过程对FTO薄膜的光电性能影响 | 第30-31页 |
| 3.2 TiO_2镀膜液的分析 | 第31-33页 |
| 3.2.1 前驱物的DSC分析 | 第31-32页 |
| 3.2.2 前驱物的XRD分析 | 第32-33页 |
| 3.3 不同基体温度对TiO_2/FTO双层膜结构与性能 | 第33-40页 |
| 3.3.1 不同基板温条件下TiO_2/FTO双层膜的形貌分析 | 第33-36页 |
| 3.3.2 不同基体温度条件下TiO_2/FTO双层膜的XRD分析 | 第36-37页 |
| 3.3.3 不同基体温度条件下TiO_2/FTO双层膜样品的光电性能分析 | 第37-40页 |
| 3.4 不同喷涂时间对TiO_2/FTO双层膜的结构与性能 | 第40-47页 |
| 3.4.1 不同喷涂时间条件下TiO_2/FTO双层膜的形貌分析 | 第40-44页 |
| 3.4.2 不同喷涂时间条件下TiO_2/FTO双层膜的XRD分析 | 第44-45页 |
| 3.4.3 不同喷涂时间条件下TiO_2/FTO双层膜的光电性能分析 | 第45-47页 |
| 3.5 不同浓度条件下TiO_2/FTO双层膜的结构与性能 | 第47-52页 |
| 3.5.1 不同浓度条件下TiO_2/FTO双层膜的形貌分析 | 第47-50页 |
| 3.5.2 不同浓度条件下TiO_2/FTO双层膜的XRD分析 | 第50-51页 |
| 3.5.3 不同浓度条件下TiO_2/FTO双层膜样品的光电性能分析 | 第51-52页 |
| 3.6 本章小结 | 第52-54页 |
| 第4章 TiO_2/FTO双层膜的抗还原性分析 | 第54-63页 |
| 4.1 TiO_2/FTO双层膜的抗还原性分析 | 第54-59页 |
| 4.1.1 不同基体温度条件下TiO_2/FTO双层膜的抗还原性分析 | 第54-56页 |
| 4.1.2 不同喷涂时间条件下TiO_2/FTO双层膜的抗还原性分析 | 第56-58页 |
| 4.1.3 不同浓度条件下TiO_2/FTO双层膜的抗还原性分析 | 第58-59页 |
| 4.2 TiO_2/FTO双层膜的GD-OES分析 | 第59-61页 |
| 4.3 本章小结 | 第61-63页 |
| 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-69页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
