三轴谐振式加速度计测控电路的设计
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-19页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第8-9页 |
| ·三轴谐振式硅微加速度计国内外研究现况 | 第9-14页 |
| ·国外研究现况 | 第9-12页 |
| ·国内研究现况 | 第12-14页 |
| ·谐振式加速度计测控电路研究现状 | 第14-18页 |
| ·国外研究动态 | 第14-17页 |
| ·国内研究动态 | 第17-18页 |
| ·本论文研究的主要内容 | 第18-19页 |
| 第2章 三轴谐振式加速度计的基本理论 | 第19-29页 |
| ·三轴谐振式加速度计的基本工作原理 | 第19-21页 |
| ·三轴谐振式加速度计实现方式 | 第19页 |
| ·基本原理 | 第19-21页 |
| ·动力学基础 | 第21-23页 |
| ·平面双轴谐振式加速度计工作机理 | 第21-22页 |
| ·垂直z轴谐振加速度计敏感机理 | 第22-23页 |
| ·谐振式加速度计驱动检测机理 | 第23-28页 |
| ·静电激励原理 | 第23-25页 |
| ·驱动模态 | 第25-27页 |
| ·电容检测原理 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 三轴谐振式加速度计驱动与检测电路 | 第29-56页 |
| ·驱动电路设计的要求 | 第29-30页 |
| ·三轴谐振式加速度计驱动检测电路框图 | 第30-31页 |
| ·谐振式加速度计的闭环控制回路设计 | 第31-42页 |
| ·接口信号提取电路 | 第31-33页 |
| ·载波电路 | 第33-37页 |
| ·自激振荡闭环控制 | 第37-39页 |
| ·锁相环闭环控制 | 第39-42页 |
| ·系统的MATLAB仿真 | 第42-48页 |
| ·三轴谐振式加速度计频率测量 | 第48-55页 |
| ·模拟测频法 | 第48-51页 |
| ·数字测频法 | 第51-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第4章 三轴谐振式加速度计的硬件电路设计 | 第56-67页 |
| ·硬件电路总体概述 | 第56-57页 |
| ·模拟驱动电路设计 | 第57-63页 |
| ·接口电路 | 第57页 |
| ·相位控制电路 | 第57-61页 |
| ·幅度控制电路 | 第61-63页 |
| ·数字频率测量电路设计 | 第63-66页 |
| ·比较器 | 第63页 |
| ·FPGA数字测频电路 | 第63-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第5章 三轴谐振式加速度计性能测试 | 第67-90页 |
| ·测试电路和测试平台 | 第67-69页 |
| ·实验环境 | 第67-68页 |
| ·测控电路信号采集 | 第68-69页 |
| ·三轴谐振式加速度计性能测试 | 第69-83页 |
| ·谐振频率测试及Q值估计 | 第69-70页 |
| ·三轴谐振式加速度计标度因数测试 | 第70-76页 |
| ·三轴谐振式加速度计离心机实验 | 第76-78页 |
| ·三轴谐振式加速度计零偏测试 | 第78-83页 |
| ·三轴谐振式加速度计交叉轴耦合实验 | 第83-89页 |
| ·y、z轴交叉耦合实验 | 第83-85页 |
| ·x、z轴交叉耦合实验 | 第85-87页 |
| ·x、y轴交叉耦合实验 | 第87-89页 |
| ·本章小结 | 第89-90页 |
| 第6章 总结与展望 | 第90-92页 |
| ·全文总结 | 第90-91页 |
| ·未来工作展望 | 第91-92页 |
| 致谢 | 第92-93页 |
| 参考文献 | 第93-96页 |
| 附录 | 第96页 |
