微结构气体传感器设计中的关键技术研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-9页
第1章 绪论	第9-21页
·论文研究的背景	第9-10页
·微结构气体传感器的发展及其研究现状	第10-15页
·气体传感器阵列概述及其研究现状	第15-19页
·论文研究的主要内容	第19-21页
第2章 微结构气体传感器的结构设计、模拟和优化	第21-49页
·MOS 型微结构气体传感器的工作原理	第21页
·二氧化锡薄膜的导电机理	第21-22页
·传热学问题中的有限元法	第22-28页
·封闭膜式结构微传感器的热分析	第28-46页
·传感器结构的优化	第46-49页
第3章 微结构传感器的工艺设计	第49-59页
·MEMS 器件加工工艺概述	第49-53页
·加工工艺对微传感器功耗的影响	第53-57页
·本文所设计的传感器结构的工艺设计	第57-59页
第4章 微型传感器阵列	第59-68页
·电子鼻的结构	第59-60页
·电子鼻的工作原理	第60-63页
·集成微型传感器阵列中传感器之间的热效应影响	第63-68页
第5章 传感器阵列的模式识别算法	第68-92页
·模式识别技术概述	第68-70页
·人工神经网络	第70-77页
·气体成分的定性识别	第77-92页
第6章 总结与展望	第92-94页
·总结	第92-93页
·展望	第93-94页
参考文献	第94-99页
攻读硕士学位期间发表的论文及所获奖励	第99-100页
附录 模拟中所用主要材料的物性参数	第100-101页
致谢	第101页