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基于压电陶瓷的纳米驱动与定位控制系统研究

致谢第1-6页
摘要第6-7页
ABSTRACT第7-8页
目录第8-11页
第1章 绪论第11-21页
   ·引言第11页
   ·国内外研究现状第11-16页
     ·电压控制型第11-15页
     ·电荷控制型第15页
     ·控制方式第15-16页
   ·国内外产品综述第16-19页
     ·HVA 系列压电陶瓷驱动电源第16-17页
     ·HPV 系列压电陶瓷驱动电源第17-18页
     ·E-753 型低压压电陶瓷驱动电源第18-19页
   ·本文主要研究目的和研究内容第19-21页
     ·本文主要研究目的第19页
     ·本文主要研究内容第19页
     ·理想性能指标要求第19-21页
第2章 压电陶瓷驱动与定位控制系统总体方案设计第21-28页
   ·引言第21页
   ·压电陶瓷驱动与定位控制系统组成第21-22页
   ·压电陶瓷驱动电源设计第22-25页
     ·驱动电源的设计原理第22-23页
     ·直流稳压电源的设计原理第23-25页
   ·压电陶瓷控制模块设计第25-27页
   ·小结第27-28页
第3章 压电陶瓷驱动电源的设计第28-39页
   ·引言第28页
   ·驱动电源的总体设计第28-29页
   ·压电陶瓷驱动电源的电路设计第29-34页
     ·集成功率放大器的选择第29页
     ·压电陶瓷驱动电源的电路设计第29-31页
     ·直流稳压电路的设计第31-34页
   ·压电陶瓷驱动电源的仿真分析第34-38页
     ·对输入正弦交流信号的分析第35页
     ·电源线性度的分析第35-36页
     ·电源的误差分析第36-37页
     ·静态电压纹波分析第37页
     ·稳定性分析第37-38页
   ·小结第38-39页
第4章 压电陶瓷驱动与定位系统控制模块设计第39-50页
   ·引言第39页
   ·控制模块硬件电路设计第39-48页
     ·控制系统设计原理第39-40页
     ·FPGA 概述第40-41页
     ·FPGA 工作原理第41页
     ·FPGA 结构第41-43页
     ·FPGA 硬件电路设计第43-48页
   ·控制模块软件设计第48-49页
   ·小结第49-50页
第5章 系统的实验研究及数据分析第50-61页
   ·引言第50页
   ·实验研究及数据分析第50-60页
     ·输出电压范围及分辨力实验第51-52页
     ·输入交流信号分析实验第52-53页
     ·线性度分析实验第53-54页
     ·电源的误差分析实验第54-56页
     ·静态纹波实验第56-57页
     ·稳定性分析实验第57-59页
     ·驱动压电陶瓷实验第59页
     ·微定位特性实验第59-60页
   ·小结第60-61页
第6章 总结与展望第61-63页
   ·总结第61页
   ·存在的问题第61-62页
   ·主要创新点第62页
   ·展望第62-63页
参考文献第63-65页
作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果第65页

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