| 摘要 | 第1-10页 |
| ABSTRACT | 第10-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-33页 |
| ·电介质薄膜材料 | 第12-20页 |
| ·高介电常数电介质薄膜 | 第12-16页 |
| ·钙钛矿结构电介质薄膜 | 第16-17页 |
| ·铁酸锶镧（LaSrFeO_3）薄膜 | 第17-20页 |
| ·介电特性的基本概念及其测试方法 | 第20-22页 |
| ·介电特性的基本概念 | 第20页 |
| ·介电特性的测试方法 | 第20-22页 |
| ·薄膜的制备工艺 | 第22-31页 |
| ·化学方法 | 第23-28页 |
| ·物理方法 | 第28-31页 |
| ·实验目的及内容 | 第31-33页 |
| 第二章 薄膜的制备及主要仪器 | 第33-40页 |
| ·试验原料 | 第33页 |
| ·主要仪器 | 第33-34页 |
| ·制备工艺 | 第34-37页 |
| ·硅基片的处理 | 第34页 |
| ·工艺过程 | 第34-37页 |
| ·结构分析 | 第37-38页 |
| ·XRD 分析 | 第37-38页 |
| ·SEM 分析 | 第38页 |
| ·介电性能测试 | 第38-40页 |
| 第三章 制备工艺的研究 | 第40-58页 |
| ·La_(0.5)Sr_(0.5)FeO_3 前驱体溶液配比的确定 | 第40-45页 |
| ·正交试验设计 | 第40页 |
| ·结果分析 | 第40-42页 |
| ·溶液配比最优方案的确定 | 第42-45页 |
| ·热处理工艺对薄膜性能的影响 | 第45-49页 |
| ·正交试验设计 | 第45-46页 |
| ·试验结果分析 | 第46页 |
| ·热处理工艺最方案的确定 | 第46-49页 |
| ·退火温度对La_(0.5)Sr_(0.5)FeO_3 薄膜性能及结构的影响 | 第49-53页 |
| ·薄膜介电性能与退火温度的关系 | 第49-50页 |
| ·退火温度对薄膜晶体结构的影响 | 第50-53页 |
| ·厚度对LSF 薄膜介电性能的影响 | 第53-56页 |
| ·薄膜厚度的测定 | 第53-54页 |
| ·厚度对薄膜介电性能的影响 | 第54页 |
| ·厚度对薄膜介频性能的影响 | 第54-56页 |
| ·本章小结 | 第56-58页 |
| 第四章 元素取代对薄膜性能的影响 | 第58-74页 |
| ·La_(1-x)Sr_xFeO_3 薄膜的制备及其性能表征 | 第58-64页 |
| ·La_(1-x)Sr_xFeO_3 薄膜的制备 | 第58-59页 |
| ·La_(1-x)Sr_xFeO_3 薄膜的介电性能 | 第59页 |
| ·La_(1-x)Sr_xFeO_3 薄膜的结构分析 | 第59-64页 |
| ·Mn 元素B 位取代对LSF 薄膜的结构和性能的影响 | 第64-68页 |
| ·Mn 取代LSF 薄膜的制备 | 第65页 |
| ·La_(0.5)Sr_(0.5)Fe_(1-x)Mn_xO_3 薄膜的结构与性能 | 第65-68页 |
| ·Gd 元素对LSF 薄膜结构与性能的影响 | 第68-72页 |
| ·(La_(1-y)Gd_y)_(0.5)Sr_(0.5)FeO_3 薄膜的制备 | 第69页 |
| ·(La_(1-y)Gd_y)_(0.5)Sr_(0.5)FeO_3 薄膜的结构与性能 | 第69-72页 |
| ·本章小结 | 第72-74页 |
| 第五章 结论与展望 | 第74-76页 |
| ·结论 | 第74-75页 |
| ·展望与亟待解决的问题 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 附录 | 第85页 |
| 在校期间发表的学术论文 | 第85页 |
