| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-17页 |
| ·多孔硅的性质及应用 | 第7-10页 |
| ·微拉曼光谱应力测量技术 | 第10-15页 |
| ·本文主要工作 | 第15-17页 |
| 第二章 横观各向同性材料的拉曼频移-应力公式 | 第17-22页 |
| ·多孔硅的微观结构 | 第17页 |
| ·多孔硅的横观各向同性力学模型 | 第17-19页 |
| ·横观各向同性材料的拉曼频移-应力公式 | 第19-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第三章 多孔硅材料力学性能实验 | 第22-33页 |
| ·测弹性模量的纳米压痕实验 | 第22-28页 |
| ·测泊松比的数字散斑相关实验 | 第28-31页 |
| ·本章小结 | 第31-33页 |
| 第四章 微拉曼光谱应力测量技术与应用 | 第33-38页 |
| ·多孔硅拉曼频移应力因子的确定 | 第33-34页 |
| ·关于多孔硅拉曼频移应力因子的讨论 | 第34-35页 |
| ·多孔硅薄膜结构残余应力测试与分析 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-38页 |
| 第五章 总结 | 第38-39页 |
| 参考文献 | 第39-45页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第45-46页 |
| 致谢 | 第46页 |