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GaAs/AlxGa1-xAs超晶格薄膜界面间扩散的研究

摘要第1-5页
Abstract第5-9页
第1章 绪论第9-25页
   ·课题背景第9-10页
   ·GaAs/AlGaAs 量子阱红外探测器的发展历程第10-11页
   ·GaAs/AlGaAs 材料的主要特性第11-17页
     ·GaAs/AlGaAs 材料的能带结构第11-14页
     ·GaAs/AlGaAs 材料的光学特性第14-17页
   ·分子束外延技术(MBE)第17-21页
     ·分子束外延的基本工作原理第17-18页
     ·分子束外延的设备结构第18页
     ·分子束外延法的特点第18-19页
     ·MBE 生长GaAs/AsGaAs 材料的影响因素第19-21页
   ·超晶格界面扩散理论概述第21-23页
   ·本文研究的目的与主要内容第23-25页
第2章 样品制备与测试方法第25-33页
   ·GaAs/AlGaAs 超晶格薄膜的制备第25-30页
     ·MBE 工艺过程简述第25-26页
     ·薄膜表面再构观察第26-29页
     ·超晶格样品的生长第29-30页
   ·超晶格样品的退火热处理第30-31页
   ·分析测试方法第31-33页
     ·双晶X 射线衍射测试第31页
     ·光致发光测试第31-33页
第3章 测试结果及扩散长度的理论计算第33-49页
   ·双晶X 射线衍射结果及其理论计算第33-41页
     ·引言第33-34页
     ·双晶X 射线衍射结果第34-37页
     ·超晶格结构参数的精确测定第37页
     ·界面扩散长度的理论计算第37-41页
   ·光致发光测试结果及其理论计算第41-47页
     ·引言第41-43页
     ·光致发光实验结果第43-46页
     ·界面扩散长度的理论计算第46-47页
   ·本章小结第47-49页
第4章 界面扩散对超晶格红外探测波长的微调第49-59页
   ·GaAs/AlGaAs 超晶格束缚态电子能级结构的计算第49-55页
     ·Kronig-Penney 模型第49-52页
     ·二子能带模型第52页
     ·GaAs/AlGaAs 超晶格导带电子能级结构理论计算第52-55页
   ·超晶格红外探测波长的微调第55-57页
   ·本章小结第57-59页
结论第59-60页
参考文献第60-64页
附录第64-77页
致谢第77页

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