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N-TiO2和Al/N-TiO2薄膜的磁控溅射法制备和亲水性能的研究

中文摘要第1-11页
英文摘要第11-13页
第一章 绪论第13-32页
   ·TiO_2的研究进展第13-15页
   ·TiO_2的晶体结构第15-16页
   ·TiO_2的光催化性能第16-19页
     ·TiO_2的光催化反应原理第16-18页
     ·TiO_2光催化技术的优势以及存在的问题第18-19页
     ·TiO_2光催化改性第19页
   ·TiO_2的光致亲水性能第19-26页
     ·TiO_2的光致亲水性能机理第20-21页
     ·TiO_2的光致亲水性与光催化性能之间的关系第21-22页
     ·影响TiO_2亲水性能的因素第22-23页
     ·改善TiO_2亲水性能的措施第23-24页
     ·TiO_2亲水性能的应用第24-26页
   ·本课题的研究内容及意义第26-27页
 参考文献第27-32页
第二章 溅射镀膜简介第32-38页
   ·溅射机理第32-33页
   ·基本溅射类型第33-35页
   ·溅射过程与薄膜生长第35-37页
     ·溅射靶材过程第35页
     ·溅射粒子迁移过程第35-36页
     ·溅射成膜过程第36-37页
 参考文献第37-38页
第三章 溅射镀膜及表征方法第38-42页
   ·溅射镀膜设备及材料第38页
   ·石英玻璃基片的清洗第38-39页
   ·溅射制备TiO_2薄膜工艺流程第39-40页
   ·TiO_2薄膜的表征方法第40-42页
第四章 N-TiO_2薄膜的磁控溅射法制备和亲水性能的研究第42-56页
   ·引言第42-43页
   ·TiO_2薄膜的制备第43页
     ·N-TiO_2薄膜的制备第43页
     ·参比标样的制备第43页
   ·结果与讨论第43-52页
     ·XRD 分析第43-45页
     ·SEM 观察第45-48页
     ·XPS 分析第48-50页
     ·UV-Vis 分析第50-51页
     ·N-TiO_2薄膜的亲水性能第51-52页
   ·本章小结第52页
 参考文献第52-56页
第五章 Al/N-TiO2薄膜的直流反应磁控溅射法制备和亲水性能的研究第56-74页
   ·引言第56-57页
   ·TiO_2薄膜样品的制备工艺参数第57页
   ·结果与讨论第57-69页
     ·掺杂对TiO_2薄膜晶体结构的影响第57-59页
     ·掺杂对TiO_2薄膜表面形貌的影响第59-61页
     ·掺杂对TiO_2薄膜表面元素化学状态的影响第61-64页
     ·掺杂对TiO_2薄膜发光性能的影响第64-65页
     ·掺杂对TiO_2薄膜紫外-可见光吸收性能的影响第65-68页
     ·掺杂对TiO_2薄膜的亲水性能的影响第68-69页
   ·本章小结第69-70页
 参考文献第70-74页
第六章 结论第74-75页
硕士期间发表的论文第75-76页
致谢第76页

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