硅片传输机器人设计及轨迹规划
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| ·论文选题背景及来源 | 第9页 |
| ·硅片自动传输系统概述 | 第9-11页 |
| ·硅片自动传输系统的分类 | 第9-11页 |
| ·硅片自动传输系统的发展 | 第11页 |
| ·硅片传输机器人概述 | 第11-18页 |
| ·国内外硅片传输机器人的发展 | 第12-13页 |
| ·国内外硅片传输机器人研究现状 | 第13-18页 |
| ·论文主要研究内容 | 第18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 2 硅片传输机器人总体方案设计 | 第19-23页 |
| ·机器人构型 | 第19-20页 |
| ·硅片传输机器人构型 | 第20-22页 |
| ·SCARA型硅片传输机器人 | 第21-22页 |
| ·R-θ型硅片传输机器人 | 第22页 |
| ·硅片传输机器人总体方案确定 | 第22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 3 硅片传输机器人手臂设计 | 第23-39页 |
| ·硅片传输机器人手臂方案确定 | 第23-26页 |
| ·硅片传输机器人手臂机构选择 | 第23-24页 |
| ·硅片传输机器人手臂模型建立 | 第24-26页 |
| ·硅片传输机器人手臂结构设计 | 第26-31页 |
| ·硅片传输机器人手臂结构 | 第26-27页 |
| ·硅片传输机器人手臂设计特点 | 第27-31页 |
| ·硅片传输机器人末端执行器设计 | 第31-33页 |
| ·硅片传输机器人手臂设计原则 | 第33-34页 |
| ·硅片传输机器人手臂分析 | 第34-38页 |
| ·硅片传输机器人手臂运动学分析 | 第34-35页 |
| ·硅片传输机器人手臂动力学分析 | 第35-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 4 硅片传输机器人本体设计 | 第39-60页 |
| ·单臂硅片传输机器人本体设计 | 第40-47页 |
| ·单臂硅片传输机器人总体结构 | 第40-44页 |
| ·单臂硅片传输机器人手臂传动机构设计 | 第44页 |
| ·单臂硅片传输机器人旋转机构设计 | 第44页 |
| ·单臂硅片传输机器人升降机构设计 | 第44-47页 |
| ·双臂硅片传输机器人本体设计 | 第47-51页 |
| ·双臂硅片传输机器人总体结构 | 第47-49页 |
| ·双臂硅片传输机器人旋转机构设计 | 第49-50页 |
| ·双臂硅片传输机器人升降机构设计 | 第50-51页 |
| ·硅片传输机器人校核计算 | 第51-59页 |
| ·硅片传输机器人电机匹配校核计算 | 第51-57页 |
| ·硅片传输机器人滚珠螺杆校核计算 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 5 硅片传输机器人手臂轨迹规划 | 第60-66页 |
| ·机器人轨迹规划 | 第60页 |
| ·机器人时间最优轨迹规划 | 第60-61页 |
| ·硅片传输机器人时间最优轨迹规划 | 第61-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 结论 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 附录A 单臂硅片传输机器人样机 | 第71-72页 |
| 附录B 发明专利申请公布说明书 | 第72-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
