ZnO压电薄膜谐振器及BYFO多铁体研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 前言 | 第10-24页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·压电谐振型传感器 | 第10-16页 |
| ·石英晶片 | 第10-12页 |
| ·替代石英晶片的传感器 | 第12-13页 |
| ·薄膜型压电谐振器 | 第13-14页 |
| ·压电谐振器用于生物监测的原理 | 第14-16页 |
| ·压电谐振生物传感器国内外研究动态 | 第16-22页 |
| ·压电薄膜谐振器的材料制备 | 第17-19页 |
| ·压电薄膜谐振器的器件结构 | 第19-21页 |
| ·压电薄膜谐振器在生物传感器领域的应用 | 第21-22页 |
| ·本文主要工作 | 第22-24页 |
| 第二章 ZnO薄膜的制备及结构表征 | 第24-37页 |
| ·引言 | 第24-25页 |
| ·ZnO薄膜的磁控溅射制备及结构表征 | 第25-32页 |
| ·磁控溅射设备及其原理 | 第25-27页 |
| ·磁控溅射制备ZnO薄膜的结构表征与制备参数优化 | 第27-32页 |
| ·ZnO薄膜的离子束辅助沉积制备及结构表征 | 第32-36页 |
| ·离子束辅助沉积设备及其原理 | 第32页 |
| ·离子束辅助沉积ZnO薄膜的结构表征 | 第32-34页 |
| ·离子束辅助沉积两步法制备ZnO薄膜及其结构表征 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第三章 ZnO薄膜的P型掺杂研究 | 第37-48页 |
| ·引言 | 第37-39页 |
| ·P型ZnO薄膜的离子束辅助沉积 | 第39-40页 |
| ·P型ZnO的表征 | 第40-43页 |
| ·XRD和SEM表征 | 第40-42页 |
| ·电学性能表征 | 第42页 |
| ·光学性能表征 | 第42-43页 |
| ·P型ZnO的紫外光感性能 | 第43-45页 |
| ·P型ZnO的掺杂改性机理 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 第四章 ZnO压电薄膜谐振器的制备与性能研究 | 第48-67页 |
| ·引言 | 第48页 |
| ·ZnO压电薄膜谐振器的制备工艺 | 第48-52页 |
| ·磁控溅射制备Bragg层和压电层 | 第48-49页 |
| ·电极层的制备和光刻 | 第49-52页 |
| ·真空沉积法和磁控溅射法制备电极 | 第49-50页 |
| ·光刻工艺制备微波测试电极图形 | 第50-52页 |
| ·ZnO压电薄膜谐振器的表征 | 第52-65页 |
| ·XRD,SEM和AFM表征 | 第52-54页 |
| ·TEM表征 | 第54-56页 |
| ·各层的取向偏差表征 | 第56-60页 |
| ·介电性能和漏电性能表征 | 第60-61页 |
| ·压电性能表征 | 第61页 |
| ·微波性能表征 | 第61-65页 |
| ·本章小结 | 第65-67页 |
| 第五章 ZnO压电薄膜谐振器的谐振模型研究 | 第67-81页 |
| ·引言 | 第67-68页 |
| ·压电层厚度对薄膜谐振器谐振性能的影响 | 第68-69页 |
| ·电极厚度和面积对薄膜谐振器谐振性能的影响 | 第69-72页 |
| ·BVD模型中各参数对薄膜谐振器谐振性能的影响 | 第72-80页 |
| ·BVD模型等效电路 | 第72-76页 |
| ·Ansoft HFSS 9.2仿真及结果 | 第76-80页 |
| ·本章小结 | 第80-81页 |
| 第六章 ZnO压电薄膜谐振器的生物点样测试 | 第81-90页 |
| ·引言 | 第81页 |
| ·生物点样实验 | 第81-84页 |
| ·薄膜谐振器上生物探针的固定 | 第81-83页 |
| ·生物点样的流程 | 第83-84页 |
| ·生物点样器件性能的测量 | 第84-87页 |
| ·谐振频率随不同生物体的增加而发生的变化 | 第84-87页 |
| ·谐振频率随生物体不同的浓度增加而发生的变化 | 第87页 |
| ·本章小结 | 第87-90页 |
| 第七章 BYFO多铁体的制备及性能研究 | 第90-100页 |
| ·引言 | 第90页 |
| ·BYFO材料的制备工艺 | 第90-91页 |
| ·BYFO材料的表征 | 第91-99页 |
| ·XRD,SEM表征 | 第91-92页 |
| ·BYFO的漏电性能和铁电介电性能 | 第92-95页 |
| ·BYFO的热激活性能及其掺杂改性机理 | 第95-99页 |
| ·本章小结 | 第99-100页 |
| 第八章 总结 | 第100-104页 |
| 参考文献 | 第104-121页 |
| 攻读博士期间发表的论文目录 | 第121-122页 |
| 致谢 | 第122-123页 |
| 个人简历 | 第123-124页 |
