微型电涡流传感器的设计及制作

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-13页
·课题的研究背景	第8-12页
·国内外电涡流的发展	第9-11页
·我国涡流技术的发展趋势	第11-12页
·课题研究意义及内容	第12-13页
2 电涡流传感器的基本原理	第13-24页
·涡流检测技术的基本原理	第13-15页
·电涡流传感器的等效电路分析	第15-17页
·电涡流计算	第17-23页
·被测导体表面磁场强度计算	第17-18页
·集肤效应	第18-20页
·等效涡流环	第20-21页
·工件表面电涡流密度分布	第21-23页
·本章小结	第23-24页
3 微型涡流无损检测传感器的设计	第24-39页
·影响电涡流检测的参数分析	第24-30页
·人工模拟微裂纹	第30-34页
·裂缝尺寸与传感器线圈之间匹配关系	第30-31页
·微裂缝尺寸设计及电火花加工	第31-34页
·涡流无损检测传感器结构设计	第34-38页
·传感器探头结构	第34-36页
·传感器探头线圈尺寸及形状设计	第36-38页
·本章小结	第38-39页
4 微型电涡流传感器的制作	第39-54页
·微机电系统加工MEMS简介	第39页
·掩膜板制作	第39-45页
·MEMS微涡流传感器制作	第45-53页
·制作材料及设备	第45页
·工艺流程	第45-51页
·实验加工结果	第51-53页
·本章小结	第53-54页
结论	第54-55页
参考文献	第55-58页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第58-59页
致谢	第59-60页