基于薄膜体声波谐振器的非制冷型红外探测器研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-20页 |
| 1.1 引言 | 第8页 |
| 1.2 红外探测器概述 | 第8-13页 |
| 1.2.1 红外探测器的分类 | 第8-10页 |
| 1.2.2 红外探测器的性能参数 | 第10-12页 |
| 1.2.3 红外探测器的应用 | 第12-13页 |
| 1.3 红外探测器的研究现状 | 第13-19页 |
| 1.3.1 红外探测器的发展历史 | 第13-14页 |
| 1.3.2 非制冷型红外探测器的研究现状 | 第14-19页 |
| 1.4 本文研究工作 | 第19-20页 |
| 第2章 薄膜体声波谐振器简介 | 第20-26页 |
| 2.1 压电效应与压电方程 | 第20-21页 |
| 2.2 FBAR概述 | 第21-22页 |
| 2.2.1 FBAR的工作原理 | 第21-22页 |
| 2.2.2 压电材料的选择 | 第22页 |
| 2.3 FBAR的结构 | 第22-23页 |
| 2.4 等效电路模型 | 第23-24页 |
| 2.5 本章小结 | 第24-26页 |
| 第3章 红外探测器的性能分析与仿真研究 | 第26-38页 |
| 3.1 FBAR的制作工艺 | 第26-27页 |
| 3.2 红外测试系统 | 第27-29页 |
| 3.3 红外探测器的性能测试 | 第29-32页 |
| 3.3.1 两种测试方法对比 | 第29-30页 |
| 3.3.2 红外探测器的性能分析 | 第30-32页 |
| 3.4 温度测试实验 | 第32-33页 |
| 3.5 红外探测器的热学特性仿真研究 | 第33-36页 |
| 3.5.1 单元FBAR的热学特性仿真分析 | 第33-34页 |
| 3.5.2 阵列化FBAR的热学特性仿真分析 | 第34-36页 |
| 3.6 本章小结 | 第36-38页 |
| 第4章 红外探测器的测试 | 第38-58页 |
| 4.1 谐振式红外探测器的研究 | 第38-41页 |
| 4.1.1 谐振式红外探测器的机理 | 第38页 |
| 4.1.2 谐振式红外探测器的测试 | 第38-40页 |
| 4.1.3 时间常数的测量 | 第40-41页 |
| 4.2 基于黑磷的谐振式红外探测器 | 第41-47页 |
| 4.2.1 黑磷的转移方法 | 第41-46页 |
| 4.2.2 基于黑磷的红外探测器研究 | 第46-47页 |
| 4.3 电阻式红外探测器的研究 | 第47-48页 |
| 4.4 电阻式红外探测的机理分析 | 第48-54页 |
| 4.4.1 基于温度的机理分析 | 第48-49页 |
| 4.4.2 基于MBVD等效电路模型的仿真分析 | 第49-51页 |
| 4.4.3 电学特性测试 | 第51-54页 |
| 4.5 电阻式红外探测器的结果分析 | 第54-56页 |
| 4.6 本章小结 | 第56-58页 |
| 第5章 总结与展望 | 第58-60页 |
| 5.1 总结 | 第58-59页 |
| 5.2 展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-66页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
