| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 硅纳米线概述 | 第9-11页 |
| 1.1.1 研究现状简介 | 第9页 |
| 1.1.2 硅纳米线的应用 | 第9-10页 |
| 1.1.2.1 电池电极材料 | 第9页 |
| 1.1.2.2 太阳能电池 | 第9-10页 |
| 1.1.2.3 气体传感器 | 第10页 |
| 1.1.3 硅纳米线的制备方法 | 第10-11页 |
| 1.1.3.1 激光烧蚀法 | 第10页 |
| 1.1.3.2 化学气相沉积法 | 第10-11页 |
| 1.1.3.3 热蒸发法 | 第11页 |
| 1.1.3.4 电化学法 | 第11页 |
| 1.1.3.5 金属辅助化学刻蚀法 | 第11页 |
| 1.2 改性硅纳米线 | 第11-14页 |
| 1.2.1 改性硅纳米线介绍 | 第11-12页 |
| 1.2.2 硅纳米线的结构改性 | 第12-13页 |
| 1.2.3 硅纳米线的表面修饰改性 | 第13-14页 |
| 1.3 本论文的研究意义和主要工作 | 第14-17页 |
| 第二章 硅纳米线的制备及其气敏性能 | 第17-29页 |
| 2.1 金属辅助化学刻蚀法概述 | 第17页 |
| 2.2 金属辅助化学刻蚀法刻蚀原理 | 第17-18页 |
| 2.3 硅纳米线阵列的制备 | 第18-20页 |
| 2.3.1 硅片的选取 | 第18-19页 |
| 2.3.2 硅片的清洗 | 第19页 |
| 2.3.3 硅纳米线的制备 | 第19-20页 |
| 2.3.4 反应产物的去除和清洗 | 第20页 |
| 2.4 硅纳米线阵列特性表征 | 第20-22页 |
| 2.4.1 SEM微观形貌分析 | 第20页 |
| 2.4.2 TEM微观形貌分析 | 第20-21页 |
| 2.4.3 EDS能谱分析 | 第21页 |
| 2.4.4 BET比表面积测试 | 第21页 |
| 2.4.5 SEM和TEM微观形貌分析 | 第21-22页 |
| 2.5 硅纳米线传感器及气敏性能 | 第22-27页 |
| 2.5.1 电极制备 | 第22-23页 |
| 2.5.2 气敏测试装置的搭建 | 第23-24页 |
| 2.5.3 气敏传感器的表征参数 | 第24-25页 |
| 2.5.4 硅纳米线气敏特性 | 第25-26页 |
| 2.5.5 硅纳米线气敏机理 | 第26-27页 |
| 2.6 本章小结 | 第27-29页 |
| 第三章 针状粗糙表面硅纳米线及其气敏性能 | 第29-37页 |
| 3.1 各向异性刻蚀简介 | 第29-30页 |
| 3.2 硅纳米线的各向异性刻蚀改性 | 第30-31页 |
| 3.2.1 MACE前刻蚀 | 第30页 |
| 3.2.2 TMAH后刻蚀 | 第30页 |
| 3.2.3 硅纳米线的结构改性 | 第30-31页 |
| 3.3 改性硅纳米线的表征 | 第31-34页 |
| 3.3.1 改性硅纳米线的SEM微观形貌 | 第31-32页 |
| 3.3.2 改性硅纳米线的BET测试 | 第32-33页 |
| 3.3.4 结构改性硅纳米线气敏特性 | 第33-34页 |
| 3.4 粗糙硅纳米线气敏机理 | 第34-35页 |
| 3.5 本章小结 | 第35-37页 |
| 第四章 银修饰针状粗糙表面硅纳米线 | 第37-49页 |
| 4.1 银修饰粗糙硅纳米线的制备 | 第37-39页 |
| 4.1.1 金属银的来源 | 第37-38页 |
| 4.1.2 MACE制备带有银树枝的硅纳米线 | 第38页 |
| 4.1.3 金属银的预修饰过程 | 第38-39页 |
| 4.1.4 金属修饰和结构改性硅纳米线的制备 | 第39页 |
| 4.2 银修饰粗糙硅纳米线的特性表征 | 第39-48页 |
| 4.2.1 银修饰粗糙硅纳米线的SEM表征 | 第39-41页 |
| 4.2.2 银修饰粗糙硅纳米线的EDS和XPS表征 | 第41-42页 |
| 4.2.3 银修饰粗糙硅纳米线的TEM表征 | 第42-43页 |
| 4.2.4 银修饰粗糙硅纳米线的气敏特性 | 第43-48页 |
| 4.3 本章小结 | 第48-49页 |
| 第五章 气敏性能对比及敏感机理 | 第49-59页 |
| 5.1 光滑、粗糙、银修饰粗糙硅纳米线气敏性能对比研究 | 第49-52页 |
| 5.1.1 灵敏度对比 | 第49-50页 |
| 5.1.2 响应恢复时间灵敏度对比 | 第50-52页 |
| 5.2 金属修饰气体敏感机理 | 第52-53页 |
| 5.3 电阻模型的建立 | 第53-58页 |
| 5.3.1 光滑硅纳米线的电阻模型 | 第53-54页 |
| 5.3.2 光滑硅纳米线电阻效应 | 第54-56页 |
| 5.3.3 银修饰粗糙硅纳米线的电阻模型 | 第56-57页 |
| 5.3.4 银修饰粗糙硅纳米线电阻效应 | 第57-58页 |
| 5.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第六章 总结与展望 | 第59-61页 |
| 6.1 总结 | 第59-60页 |
| 6.2 展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-67页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69页 |