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基于微流控芯片的气体传感器技术研究

摘要第4-5页
abstract第5-6页
第一章 绪论第9-19页
    1.1 课题研究背景及意义第9-10页
    1.2 微流控芯片技术研究现状第10-11页
    1.3 国内、外气体传感器的研究现状第11-17页
        1.3.1 气体传感器种类及其原理第11-15页
        1.3.2 气体传感器的发展方向第15-17页
    1.4 本论文主要研究内容第17-19页
第二章 光离子化检测器工作原理及开发第19-33页
    2.1 光离子化检测器原理介绍第19-21页
        2.1.1 光离子化检测器工作原理第19-20页
        2.1.2 光离子化电流的影响因素第20页
        2.1.3 国内外光离子化检测器研究现状第20-21页
    2.2 光离子化检测器的结构研究与开发第21-28页
        2.2.1 检测器的系统构成第21-22页
        2.2.2 紫外灯与电极材料的选择第22-23页
        2.2.3 电离室及偏置电极的设计第23-26页
        2.2.4 紫外灯底座及灯的激发电极设计第26-28页
    2.3 光离子化检测器驱动电路的开发第28-31页
        2.3.1 紫外灯驱动电路的开发第28-30页
        2.3.2 偏置电压模块的选用第30-31页
    2.4 本章小结第31-33页
第三章 微弱信号检测电路的开发第33-47页
    3.1 微弱电流信号检测理论研究第33-37页
        3.1.1 噪声第33页
        3.1.2 微弱信号检测原理第33-35页
        3.1.3 微弱电流信号检测方法第35-37页
    3.2 检测电路的开发第37-43页
        3.2.1 检测电流的转换第37-39页
        3.2.2 信号放大及滤波方法研究第39页
        3.2.3 检测电路的开发第39-42页
        3.2.4 干扰的产生与抑制第42-43页
    3.3 检测电路实验与调试第43-45页
    3.4 本章小结第45-47页
第四章 基于微流控芯片的气体传感器研究第47-61页
    4.1 微流控芯片的开发第47-50页
        4.1.1 气相色谱理论第47-49页
        4.1.2 微流控芯片原理第49-50页
    4.2 用于气相色谱的微流控芯片开发第50-56页
        4.2.1 芯片材料的选择第50-51页
        4.2.2 微流控芯片色谱通道设计与加工工艺第51-54页
        4.2.3 芯片键合技术第54-56页
    4.3 用于芯片涂覆的固定相研究第56-58页
        4.3.1 固定相种类及其特性第56-57页
        4.3.2 固定相的涂覆第57-58页
    4.4 芯片与检测器集成方法研究第58-60页
    4.5 本章小结第60-61页
第五章 实验结果与数据分析第61-69页
    5.1 实验系统介绍第61-62页
    5.2 光离子化检测器实验结果与数据分析第62-64页
        5.2.1 光离子化检测器基线稳定性实验第62页
        5.2.2 检测器及其调理电路整体性能测试与数据分析第62-64页
    5.3 微流控芯片与光离子化检测器集成实验分析第64-67页
    5.4 本章小结第67-69页
第六章 结论与展望第69-71页
    6.1 总结第69-70页
    6.2 展望第70-71页
参考文献第71-75页
攻读学位期间所取得的相关科研成果第75-77页
致谢第77页

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