| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-23页 |
| 1.1 课题来源及研究的背景和意义 | 第9-11页 |
| 1.2 国内外在该方向的研究现状及分析 | 第11-20页 |
| 1.2.1 光学元件大气等离子体加工的研究现状 | 第11-17页 |
| 1.2.2 光学元件确定性加工模式的研究现状 | 第17-19页 |
| 1.2.3 确定性加工驻留时间算法的研究现状 | 第19-20页 |
| 1.3 国内外文献综述简析 | 第20-21页 |
| 1.4 本课题主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第2章 新型等离子体发生器的设计及理论仿真分析 | 第23-39页 |
| 2.1 引言 | 第23页 |
| 2.2 新型等离子体发生器的设计 | 第23-29页 |
| 2.2.1 射频等离子体发生系统的搭建 | 第23-26页 |
| 2.2.2 双层进气式等离子体发生器的结构设计 | 第26-27页 |
| 2.2.3 双层进气式等离子体发生器的放电特性分析 | 第27-29页 |
| 2.3 新型等离子体发生器的理论仿真分析 | 第29-33页 |
| 2.3.1 COMSOLMultiphysics软件中多物理场仿真模型的建立 | 第29-32页 |
| 2.3.2 多物理场耦合仿真结果分析 | 第32-33页 |
| 2.4 新型等离子体发生器的基础工艺实验研究 | 第33-38页 |
| 2.4.1 大气等离子体加工技术的特点 | 第33-34页 |
| 2.4.2 长时间加工去除函数稳定性实验 | 第34-35页 |
| 2.4.3 工艺参数对去除函数的影响规律 | 第35-38页 |
| 2.5 本章小结 | 第38-39页 |
| 第3章 等离子体加工速度模式的算法设计与实现 | 第39-53页 |
| 3.1 引言 | 第39页 |
| 3.2 大气等离子体加工速度模式的算法设计 | 第39-46页 |
| 3.2.1 速度模式的基本思想及特点 | 第39-40页 |
| 3.2.2 速度模式的数学模型及求解 | 第40-45页 |
| 3.2.3 速度模式求解算法的误差分析 | 第45-46页 |
| 3.3 大气等离子体数控加工计算软件的开发 | 第46-52页 |
| 3.3.1 数控加工程序PVT运动模式的生成 | 第46-50页 |
| 3.3.2 光学元件大气等离子体数控加工的流程 | 第50-51页 |
| 3.3.3 CAM软件的总体架构设计及功能 | 第51-52页 |
| 3.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 第4章 大气等离子体确定性加工实验研究 | 第53-72页 |
| 4.1 引言 | 第53页 |
| 4.2 大气等离子体修形实验与误差分析 | 第53-58页 |
| 4.2.1 100×80mm~2平面镜的快速修形实验 | 第53-55页 |
| 4.2.2 φ140mm锥镜的快速修形实验 | 第55-58页 |
| 4.3 大口径连续位相板的加工实验研究 | 第58-67页 |
| 4.3.1 基于Nyquist定理的去除函数匹配方法 | 第58-61页 |
| 4.3.2 标定实验的设计 | 第61-63页 |
| 4.3.3 点位加工模式的加工结果 | 第63-65页 |
| 4.3.4 速度模式的加工结果 | 第65-67页 |
| 4.4 大气等离子体加工的误差来源分析 | 第67-71页 |
| 4.4.1 多次加工的可重复性 | 第67-68页 |
| 4.4.2 电极表面材料变化分析 | 第68-70页 |
| 4.4.3 去除函数的非线性分析 | 第70-71页 |
| 4.5 本章小结 | 第71-72页 |
| 结论 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第78-80页 |
| 致谢 | 第80页 |
