| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第15-24页 |
| 1.1 研究背景及其意义 | 第15-16页 |
| 1.2 刀具涂层的制备技术 | 第16-19页 |
| 1.2.1 化学气相沉积(ChemicalVaporDeposition) | 第16-17页 |
| 1.2.2 物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition) | 第17-19页 |
| 1.3 TiAlN基涂层研究进展 | 第19-22页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第22-24页 |
| 第二章 涂层的制备及分析技术 | 第24-35页 |
| 2.1 涂层的制备 | 第24-27页 |
| 2.1.1 涂层沉积设备 | 第24-25页 |
| 2.1.2 基体的选择 | 第25页 |
| 2.1.3 镀膜前处理 | 第25-26页 |
| 2.1.4 涂层的制备 | 第26-27页 |
| 2.2 涂层成分及结构检测方法 | 第27-29页 |
| 2.2.1 涂层的微观组织形貌 | 第27页 |
| 2.2.2 涂层的物相结构 | 第27-28页 |
| 2.2.3 涂层的化学成分 | 第28页 |
| 2.2.4 涂层的表面粗糙度 | 第28-29页 |
| 2.2.5 涂层的磨痕轮廓测试 | 第29页 |
| 2.3 涂层力学性能测试方法 | 第29-32页 |
| 2.3.1 硬度和弹性模量 | 第29页 |
| 2.3.2 结合力 | 第29-30页 |
| 2.3.3 韧性 | 第30-31页 |
| 2.3.4 耐磨性能 | 第31-32页 |
| 2.4 热重分析 | 第32页 |
| 2.5 涂层切削性能测试方法 | 第32-35页 |
| 第三章 脉冲电弧涂层设备的工艺优化 | 第35-49页 |
| 3.1 引言 | 第35页 |
| 3.2 不同频率下AlTiN涂层的制备及结构性能研究 | 第35-42页 |
| 3.2.1 涂层的制备 | 第35-36页 |
| 3.2.2 涂层的成分 | 第36-37页 |
| 3.2.3 涂层的结构 | 第37页 |
| 3.2.4 涂层的形貌 | 第37-39页 |
| 3.2.5 涂层的力学性能 | 第39-42页 |
| 3.3 不同占空比下AlTiN涂层的制备及结构性能研究 | 第42-48页 |
| 3.3.1 涂层的制备 | 第42页 |
| 3.3.2 涂层的成分 | 第42-43页 |
| 3.3.3 涂层的结构 | 第43-44页 |
| 3.3.4 涂层的形貌 | 第44-45页 |
| 3.3.5 涂层的力学性能 | 第45-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 AlTiN/CrN纳米多层涂层的制备及性能研究 | 第49-60页 |
| 4.1 引言 | 第49页 |
| 4.2 AlTiN/CrN涂层的制备 | 第49-50页 |
| 4.3 AlTiN/CrN涂层成分和结构 | 第50-54页 |
| 4.4 AlTiN/CrN涂层的力学性能 | 第54-57页 |
| 4.5 AlTiN/CrN涂层的抗氧化性能 | 第57-58页 |
| 4.6 本章小结 | 第58-60页 |
| 第五章 AlTiXN/AlTiN(X=Cr、Si)多层涂层的制备及力学和铣削性能研究 | 第60-72页 |
| 5.1 引言 | 第60页 |
| 5.2 AlTiXN/AlTiN涂层的制备 | 第60-61页 |
| 5.3 AlTiXN/AlTiN涂层的结构 | 第61-62页 |
| 5.4 AlTiXN/AlTiN涂层的力学性能 | 第62-67页 |
| 5.5 AlTiXN/AlTiN涂层的铣削性能 | 第67-70页 |
| 5.6 本章小结 | 第70-72页 |
| 结论与展望 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-82页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第82-84页 |
| 致谢 | 第84页 |
