| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第15-22页 |
| 1.1 课题研究背景及其意义 | 第15-16页 |
| 1.2 硬质涂层的沉积技术 | 第16-19页 |
| 1.2.1 电弧离子镀(AIP) | 第16-17页 |
| 1.2.2 传统的磁控溅射(MS) | 第17-18页 |
| 1.2.3 高功率脉冲磁控溅射(HIPIMS) | 第18-19页 |
| 1.3 氧氮化物涂层的研究进展 | 第19-20页 |
| 1.4 耐磨硬质涂层研究进展 | 第20页 |
| 1.5 课题来源及主要研究内容 | 第20-22页 |
| 1.5.1 课题来源 | 第20-21页 |
| 1.5.2 主要研究内容 | 第21-22页 |
| 第二章 涂层的制备及分析技术 | 第22-30页 |
| 2.1 涂层制备 | 第22-25页 |
| 2.1.1 涂层设备 | 第22-23页 |
| 2.1.2 基体的选择及前处理 | 第23-24页 |
| 2.1.3 涂层的制备 | 第24-25页 |
| 2.2 涂层结构及性能表征 | 第25-28页 |
| 2.2.1 X射线衍射(XRD) | 第25页 |
| 2.2.2 X射线光子能谱(XPS) | 第25-26页 |
| 2.2.3 扫描电子显微镜(SEM) | 第26页 |
| 2.2.4 能谱仪(EDS) | 第26页 |
| 2.2.5 纳米压痕(Nanoindentation) | 第26-27页 |
| 2.2.6 划痕测试(Scratchtest) | 第27-28页 |
| 2.2.7 氧化测试(Oxidationtest) | 第28页 |
| 2.2.8 摩擦测试(Frictiontest) | 第28页 |
| 2.3 涂层切削性能测试方法 | 第28-30页 |
| 第三章 AlCrN涂层的制备及其性能研究 | 第30-35页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 AlCrN涂层的制备 | 第30-31页 |
| 3.3 AlCrN涂层的成分及结构 | 第31-32页 |
| 3.4 AlCrN涂层的形貌 | 第32-33页 |
| 3.5 AlCrN涂层的力学性能 | 第33-34页 |
| 3.6 本章小结 | 第34-35页 |
| 第四章 AlCrX(X=Si,V)N纳米复合涂层的制备及性能研究 | 第35-57页 |
| 4.1 AlCrSiON涂层制备及其结构性能研究 | 第35-44页 |
| 4.1.1 引言 | 第35-36页 |
| 4.1.2 AlCrSiON涂层的制备 | 第36页 |
| 4.1.3 AlCrSiON涂层的成分及结构 | 第36-39页 |
| 4.1.4 AlCrSiON涂层的形貌 | 第39-40页 |
| 4.1.5 AlCrSiON涂层的力学性能 | 第40-41页 |
| 4.1.6 AlCrSiON涂层的高温摩擦行为 | 第41-44页 |
| 4.2 AlCrSiVN涂层的制备及其结构性能研究 | 第44-55页 |
| 4.2.1 引言 | 第44-45页 |
| 4.2.2 AlCrSiVN涂层的制备 | 第45-46页 |
| 4.2.3 AlCrSiVN涂层的成分及结构 | 第46-48页 |
| 4.2.4 AlCrSiVN涂层的形貌结构 | 第48-49页 |
| 4.2.5 AlCrSiVN涂层的力学性能 | 第49-50页 |
| 4.2.6 AlCrSiVN涂层的高温氧化行为 | 第50-52页 |
| 4.2.7 AlCrSiVN涂层的高温摩擦行为 | 第52-55页 |
| 4.3 本章小结 | 第55-57页 |
| 第五章 AlCrSiN/VN纳米多层涂层的制备及其性能研究 | 第57-66页 |
| 5.1 引言 | 第57页 |
| 5.2 AlCrSiN/VN涂层的制备 | 第57-58页 |
| 5.3 AlCrSiN/VN涂层的成分及结构 | 第58-60页 |
| 5.4 AlCrSiN/VN涂层的形貌 | 第60-61页 |
| 5.5 AlCrSiN/VN涂层的力学性能 | 第61-62页 |
| 5.6 AlCrSiN/VN涂层的高温摩擦行为 | 第62-64页 |
| 5.7 切削实验 | 第64-65页 |
| 5.8 本章小结 | 第65-66页 |
| 结论与展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-78页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第78-80页 |
| 致谢 | 第80页 |
