| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 第一章 绪论 | 第8-13页 |
| 1.1 引言 | 第8页 |
| 1.2 磁致伸缩效应 | 第8-9页 |
| 1.2.1 磁致伸缩 | 第8-9页 |
| 1.2.2 磁致伸缩效应的分类 | 第9页 |
| 1.3 磁致伸缩材料 | 第9-10页 |
| 1.3.1 磁致伸缩材料的发展 | 第9-10页 |
| 1.3.2 磁致伸缩材料的分类 | 第10页 |
| 1.4 FeGa薄膜的应用与其研究发展 | 第10-11页 |
| 1.4.1 FeGa薄膜的应用 | 第10页 |
| 1.4.2 FeGa薄膜的研究发展 | 第10-11页 |
| 1.5 国内外的研究现状 | 第11-12页 |
| 1.6 研究内容 | 第12-13页 |
| 第二章 FeGa薄膜的制备与表征 | 第13-22页 |
| 2.1 FeGa薄膜的制备方法 | 第13-15页 |
| 2.1.1 脉冲激光沉积法原理 | 第13-14页 |
| 2.1.2 PLD的特点 | 第14页 |
| 2.1.3 沉积过程与条件 | 第14-15页 |
| 2.2 薄膜的表征方法 | 第15-22页 |
| 2.2.1 X射线衍射仪 | 第15-16页 |
| 2.2.2 扫描电子显微镜和能谱仪 | 第16-17页 |
| 2.2.3 振动样品磁强计 | 第17-18页 |
| 2.2.4 台阶仪 | 第18-19页 |
| 2.2.5 原子力显微镜 | 第19页 |
| 2.2.6 电子自旋共振仪 | 第19-20页 |
| 2.2.7 X射线光电子能谱 | 第20-22页 |
| 第三章 不同沉积参数对FeGa薄膜结构与磁性的影响 | 第22-34页 |
| 3.1 FeGa薄膜的制备 | 第22页 |
| 3.2 不同沉积时间下制备FeGa薄膜 | 第22-26页 |
| 3.2.1 沉积时间对FeGa薄膜厚度的影响 | 第22-23页 |
| 3.2.2 沉积时间对FeGa薄膜表面形貌的影响 | 第23页 |
| 3.2.3 沉积时间对FeGa薄膜晶体结构的影响 | 第23-24页 |
| 3.2.4 沉积时间对FeGa薄膜磁性的影响 | 第24-26页 |
| 3.3 不同激光功率密度下制备FeGa薄膜 | 第26-29页 |
| 3.3.1 激光功率密度对FeGa薄膜厚度的影响 | 第26页 |
| 3.3.2 激光功率密度对FeGa薄膜晶体结构的影响 | 第26-27页 |
| 3.3.3 激光功率密度对FeGa薄膜磁性的影响 | 第27-29页 |
| 3.4 不同衬底温度下制备FeGa薄膜 | 第29-33页 |
| 3.4.1 衬底温度对FeGa薄膜厚度的影响 | 第29页 |
| 3.4.2 衬底温度对FeGa薄膜表面形貌的影响 | 第29-30页 |
| 3.4.3 衬底温度对FeGa薄膜晶体结构的影响 | 第30-31页 |
| 3.4.4 衬底温度对FeGa薄膜磁性的影响 | 第31-33页 |
| 3.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 PLD法制备FeGaMn薄膜合金与其磁性研究 | 第34-44页 |
| 4.1 FeGaMn薄膜合金的制备 | 第34-35页 |
| 4.2 Si片上制备FeGaMn薄膜合金与其磁性研究 | 第35-40页 |
| 4.2.1 Si片上制备的FeGaMn薄膜合金的表面形貌和元素成分 | 第35-36页 |
| 4.2.2 Si片上制备的FeGaMn薄膜合金的结构 | 第36页 |
| 4.2.3 Si片上制备的FeGaMn薄膜合金的磁性 | 第36-40页 |
| 4.2.4 Mn含量的变化对FeGaMn薄膜合金电阻的影响 | 第40页 |
| 4.3 GaAs片上制备FeGaMn薄膜合金及其磁性研究 | 第40-43页 |
| 4.3.1 GaAs片上制备的FeGaMn薄膜合金的表面形貌 | 第40-41页 |
| 4.3.2 GaAs片上制备的FeGaMn薄膜合金的结构 | 第41页 |
| 4.3.3 GaAs片上制备的FeGaMn薄膜合金的磁性 | 第41-42页 |
| 4.3.4 Mn含量的变化对FeGaMn薄膜合金电阻的影响 | 第42-43页 |
| 4.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 第五章 N掺杂的FeGa薄膜制备与其磁性的研究 | 第44-50页 |
| 5.1 N掺杂的FeGa薄膜的制备 | 第44-45页 |
| 5.2 衬底温度对FeGaN薄膜的影响 | 第45-48页 |
| 5.2.1 衬底温度对FeGaN薄膜结构的影响 | 第45-46页 |
| 5.2.2 对不同温度的FeGaN薄膜进行XPS测试的分析 | 第46页 |
| 5.2.3 衬底温度对FeGaN薄膜磁性的影响 | 第46-47页 |
| 5.2.4 衬底温度对FeGaN薄膜电阻的影响 | 第47-48页 |
| 5.3 氮气通量对FeGaN薄膜的影响 | 第48-49页 |
| 5.3.1 氮气通量对FeGaN薄膜结构的影响 | 第48页 |
| 5.3.2 氮气通量对FeGaN薄膜磁性的影响 | 第48-49页 |
| 5.3.3 氮气通量对FeGaN薄膜电阻的影响 | 第49页 |
| 5.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 第六章 结论与展望 | 第50-52页 |
| 6.1 总结 | 第50-51页 |
| 6.2 展望 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-57页 |
| 攻读学位期间取得的研究成果 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
