| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外发展趋势与研究现状 | 第11-14页 |
| 1.3 论文的研究内容及框架结构 | 第14-16页 |
| 第二章 声表面波传感器基础理论和制备工艺 | 第16-25页 |
| 2.1 瑞利波与体声波 | 第16-17页 |
| 2.1.1 瑞利波 | 第16页 |
| 2.1.2 体声波 | 第16-17页 |
| 2.2 声表面波传感器简介 | 第17-20页 |
| 2.2.1 声表面波器件的基本结构 | 第17-18页 |
| 2.2.2 声表面波温度传感器分类 | 第18-19页 |
| 2.2.3 谐振型声表面波温度传感原理 | 第19-20页 |
| 2.3 声表面波传感器的制备 | 第20-24页 |
| 2.3.1 谐振型声表面波传感器设计主要参数 | 第20-22页 |
| 2.3.2 声表面波传感器的制备工艺流程 | 第22-24页 |
| 2.4 本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 声表面波传感器的设计与仿真 | 第25-38页 |
| 3.1 谐振型声表面波传感器的设计 | 第25-26页 |
| 3.1.1 不同结构谐振型声表面波传感器的设计 | 第25-26页 |
| 3.2 声表面波传感器瑞利波模式和体声波模式仿真 | 第26-36页 |
| 3.2.1 基于COMSOL的声表面波传感器建模仿真 | 第26-28页 |
| 3.2.2 瑞利波模式仿真结果 | 第28-30页 |
| 3.2.3 体声波模式仿真结果 | 第30-34页 |
| 3.2.4 衬底厚度对体声波模式影响规律仿真 | 第34-36页 |
| 3.2.5 线宽对体声波模式影响规律仿真 | 第36页 |
| 3.3 本章小结 | 第36-38页 |
| 第四章 瑞利波和体声波温度频率特性研究 | 第38-70页 |
| 4.1 测试方法 | 第38-41页 |
| 4.1.1 测试参数-S参数 | 第38-39页 |
| 4.1.2 测试仪器-矢量网络分析仪 | 第39页 |
| 4.1.3 LabVIEW控制程序 | 第39-41页 |
| 4.1.4 温度测试平台 | 第41页 |
| 4.2 瑞利波模式与体声波模式温度特性测试分析 | 第41-56页 |
| 4.2.1 线宽2μm器件双模温度频率特性测试 | 第41-46页 |
| 4.2.2 不同线宽器件双模温度频率特性测试 | 第46-56页 |
| 4.3 双模强度与叉指对数关系 | 第56-68页 |
| 4.3.1 线宽3μm不同叉指对数测试 | 第56-60页 |
| 4.3.2 线宽6μm不同叉指对数测试 | 第60-64页 |
| 4.3.3 线宽10μm不同叉指对数测试 | 第64-68页 |
| 4.4 本章小结 | 第68-70页 |
| 第五章 总结与展望 | 第70-72页 |
| 5.1 总结 | 第70-71页 |
| 5.2 不足与展望 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 攻读硕士期间的研究成果 | 第77页 |