基于平面气浮导轨的平面度误差评定系统研究
| 摘要 | 第3-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 课题研究目的及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 导轨误差均化效应国内外研究现状 | 第11-12页 |
| 1.3 平面度误差检测方法国内外研究现状 | 第12-14页 |
| 1.4 课题的主要内容 | 第14-15页 |
| 1.5 本章小结 | 第15-16页 |
| 2 平面气浮导轨气体润滑模型 | 第16-23页 |
| 2.1 平面气浮导轨工作原理 | 第16-17页 |
| 2.2 平面气浮导轨的气体润滑控制方程 | 第17-20页 |
| 2.2.1 气体润滑的基本假设 | 第17页 |
| 2.2.2 平面气浮导轨物理模型 | 第17-18页 |
| 2.2.3 控制方程推导 | 第18-20页 |
| 2.3 流量平衡条件 | 第20-21页 |
| 2.4 静特性求解 | 第21-22页 |
| 2.5 本章小结 | 第22-23页 |
| 3 静导轨表面形貌数值模拟 | 第23-32页 |
| 3.1 表面形貌概述 | 第23-24页 |
| 3.2 双重傅里叶级数法 | 第24-25页 |
| 3.3 分形理论法 | 第25-28页 |
| 3.3.1 W-M分形模型 | 第25-27页 |
| 3.3.2 分数布朗模型 | 第27-28页 |
| 3.4 分形插值曲面法 | 第28-31页 |
| 3.4.1 分数插值曲面的数学模型 | 第28-29页 |
| 3.4.2 分数插值曲面的模拟 | 第29-31页 |
| 3.5 本章小结 | 第31-32页 |
| 4 平面气浮导轨力学平衡模型 | 第32-37页 |
| 4.1 平面气浮导轨气体润滑状态平衡模型 | 第32-34页 |
| 4.1.1 平面气浮导轨平衡原理 | 第32-33页 |
| 4.1.2 平面气浮导轨平衡条件 | 第33-34页 |
| 4.2 平面气浮导轨干摩擦运动平衡模型 | 第34-36页 |
| 4.3 本章小结 | 第36-37页 |
| 5 平面气浮导轨误差均化效应数值计算分析 | 第37-54页 |
| 5.1 平面气浮导轨静特性数值计算模型 | 第37-41页 |
| 5.1.1 气膜网格划分 | 第37-38页 |
| 5.1.2 控制方程的离散 | 第38-39页 |
| 5.1.3 边界条件设定 | 第39页 |
| 5.1.4 运算求解流程 | 第39-41页 |
| 5.2 平面气浮导轨静特性数值计算实例 | 第41-44页 |
| 5.2.1 设定计算参数 | 第41页 |
| 5.2.2 计算结果分析 | 第41-44页 |
| 5.3 平面气浮导轨误差均化效应数值计算模型 | 第44-45页 |
| 5.4 平面气浮导轨误差均化效应数值计算实例 | 第45-50页 |
| 5.4.1 直线运动误差均化效果计算分析 | 第45-46页 |
| 5.4.2 平面运动误差均化效果计算分析 | 第46-47页 |
| 5.4.3 误差均化效果影响因素分析计算 | 第47-50页 |
| 5.5 实验验证平面气浮导轨误差均化效应 | 第50-53页 |
| 5.5.1 直线运动误差均化效果实验探究 | 第50-52页 |
| 5.5.2 平面运动误差均化效果实验探究 | 第52-53页 |
| 5.6 本章小结 | 第53-54页 |
| 6 二维气浮平面度检测仪设计 | 第54-60页 |
| 6.1 二维气浮平面度检测仪总体结构设计 | 第54-55页 |
| 6.2 主要零件设计及性能分析 | 第55-58页 |
| 6.2.1 柔性铰链设计及分析 | 第55-57页 |
| 6.2.2 相关零部件设计 | 第57-58页 |
| 6.3 相关组件选型 | 第58-59页 |
| 6.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 7 误差评定软件系统设计 | 第60-73页 |
| 7.1 直线度误差评定方法数学模型 | 第60-63页 |
| 7.1.1 最小区域法数学模型 | 第60-61页 |
| 7.1.2 最小二乘法数学模型 | 第61-62页 |
| 7.1.3 两端点连线法数学模型 | 第62-63页 |
| 7.2 平面度误差评定方法数学模型 | 第63-66页 |
| 7.2.1 对角线法求平面度误差的数学模型 | 第63页 |
| 7.2.2 三远点法求平面度误差的数学模型 | 第63-64页 |
| 7.2.3 最小区域法求平面度误差的数学模型 | 第64页 |
| 7.2.4 最小二乘法求平面度误差的数学模型 | 第64-66页 |
| 7.3 误差评定图形界面设计过程 | 第66-68页 |
| 7.4 误差评定图形界面功能介绍 | 第68-70页 |
| 7.5 误差评定实例 | 第70-72页 |
| 7.6 本章小结 | 第72-73页 |
| 8 结论与展望 | 第73-76页 |
| 8.1 结论 | 第73-74页 |
| 8.2 不足与展望 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-79页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80-83页 |
