| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 点衍射干涉技术的研究背景和意义 | 第11-13页 |
| 1.2 点衍射干涉技术的研究现状 | 第13-16页 |
| 1.3 本论文的主要研究内容 | 第16-18页 |
| 1.4 本论文的主要创新点 | 第18-19页 |
| 第2章 点衍射干涉检测系统光学结构参数的优化研究方法 | 第19-35页 |
| 2.1 影响点衍射波前质量关键结构参数 | 第19-22页 |
| 2.2 FDTD方法的基本理论 | 第22-29页 |
| 2.2.1 三维FDTD方法的基本方程 | 第23-26页 |
| 2.2.2 二维FDTD方法的基本方程 | 第26-29页 |
| 2.3 利用FDTD方法计算针孔衍射场 | 第29-31页 |
| 2.3.1 利用FDTD方法计算二维针孔衍射场 | 第29-30页 |
| 2.3.2 利用FDTD方法计算三维针孔衍射场 | 第30-31页 |
| 2.4 点衍射干涉系统光学结构参数优化研究流程 | 第31-33页 |
| 2.5 小结 | 第33-35页 |
| 第3章 点衍射干涉系统结构参数对参考波前质量的仿真分析 | 第35-50页 |
| 3.1 分析二维模型中光学结构参数对衍射参考波前质量的影响 | 第35-43页 |
| 3.1.1 分析光学结构参数对衍射波前误差的影响 | 第36-39页 |
| 3.1.2 分析光学结构参数对衍射光强的影响 | 第39-42页 |
| 3.1.3 分析光学结构参数对衍射光强均匀度的影响 | 第42-43页 |
| 3.2 分析三维模型中光学结构参数对衍射参考波前质量的影响 | 第43-47页 |
| 3.2.1 分析光学结构参数对衍射波前误差的影响 | 第43-45页 |
| 3.2.2 分析光学结构参数对衍射光强的影响 | 第45-46页 |
| 3.2.3 分析光学结构参数对衍射光强均匀度的影响 | 第46-47页 |
| 3.3 点衍射干涉系统光学结构参数优化选取 | 第47-48页 |
| 3.4 小结 | 第48-50页 |
| 第4章 点衍射干涉系统中影响衍射波前质量的因素研究 | 第50-60页 |
| 4.1 对准误差对衍射波前质量的影响分析 | 第50-56页 |
| 4.1.1 分析平移对准误差对衍射波前质量的影响 | 第51-53页 |
| 4.1.2 分析倾斜对准误差对衍射波前质量的影响 | 第53-55页 |
| 4.1.3 分析离焦对准误差对衍射波前质量的影响 | 第55-56页 |
| 4.2 针孔形状加工误差对衍射波前质量的影响 | 第56-58页 |
| 4.3 小结 | 第58-60页 |
| 第5章 仿真结果有效性的实验验证 | 第60-69页 |
| 5.1 点衍射球面干涉检测实验系统原理介绍 | 第60-62页 |
| 5.2 针孔衍射板的特性研究 | 第62-64页 |
| 5.3 点衍射干涉系统球面检测结果 | 第64-68页 |
| 5.3.1 高反射率球面镜检测 | 第65-67页 |
| 5.3.2 低反射率球面镜检测 | 第67-68页 |
| 5.4 小结 | 第68-69页 |
| 第6章 总结与展望 | 第69-71页 |
| 6.1 本文所完成的工作 | 第69-70页 |
| 6.2 对工作的展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 作者简历 | 第74页 |
