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基于MEMS的滤波器研究

中文摘要第4-5页
ABSTRACT第5页
第一章 绪论第8-16页
    1.1 光学滤波器的类型第8-9页
        1.1.1 棱镜型光学滤波器第8页
        1.1.2 衍射型光学滤波器第8-9页
        1.1.3 干涉型光学滤波器第9页
    1.2 可调谐光学滤波器的类型及特点第9-15页
        1.2.1 Fabry-Perot 可调谐光滤波器第10页
        1.2.2 Mach-Zehnder 可调谐光滤波器第10-11页
        1.2.3 光纤 Sagnac 环可调谐光滤波器第11-12页
        1.2.4 介质膜可调谐光滤波器第12页
        1.2.5 波导微环形腔可调谐光滤波器第12-13页
        1.2.6 光纤光栅可调谐光滤波器第13-14页
        1.2.7 声光可调谐光滤波器第14页
        1.2.8 阵列波导光栅可调谐光滤波器第14-15页
    1.3 课题来源和研究的意义第15-16页
第二章 光学元器件的理论模型第16-31页
    2.1 高斯光束的基本特性第16-20页
        2.1.1 高斯光束波函数第16-17页
        2.1.2 高斯光束的特征参数第17-18页
        2.1.3 高斯光束 q 参数第18-19页
        2.1.4 倾斜高斯光束折射规律第19-20页
    2.2 衍射光栅第20-22页
        2.2.1 衍射光栅的分类第20-21页
        2.2.2 光栅的基本原理第21-22页
    2.3 准直器设计第22-25页
        2.3.1 光纤准直器的作用第22页
        2.3.2 准直器的结构和分类第22-23页
        2.3.3 准直器设计和仿真第23-25页
    2.4 棱镜的设计第25-31页
        2.4.1 扩束的两种方法第26-28页
        2.4.2 扩束棱镜的设计第28-31页
第三章 总体光学设计和装配第31-43页
    3.1 设计思路和总体结构第31页
    3.2 光栅光谱拓展第31-33页
    3.3 光学元器件的功能和参数第33-41页
        3.3.1 棱镜的参数第34-37页
        3.3.2 准直器参数第37页
        3.3.3 光栅指标第37-39页
        3.3.4 MEMS 反射镜第39-41页
    3.4 实验装置的搭建第41-43页
        3.4.1 光学元器件的装配第41-42页
        3.4.2 调试和指标测试第42页
        3.4.3 成品实验样品第42-43页
第四章 测试光路和结果分析第43-49页
    4.1 测试光路第43页
    4.2 测试结果第43-49页
        4.2.1 理论模型第43-44页
        4.2.2 首次样品测试结果第44-46页
        4.2.3 可靠性实验结果第46-49页
第五章 总结和展望第49-50页
参考文献第50-53页
致谢第53页

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