| 摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-36页 |
| 1.1 半导体功能材料及其在传感器领域的应用 | 第11-13页 |
| 1.1.1 半导体功能材料概述 | 第11-12页 |
| 1.1.2 半导体功能材料在传感器领域的应用 | 第12-13页 |
| 1.2 氧化物半导体气体传感器概述 | 第13-20页 |
| 1.2.1 半导体气体传感器与半导体气敏材料 | 第13-17页 |
| 1.2.2 半导体气敏的基本原理 | 第17-19页 |
| 1.2.3 半导体气体传感器的评价指标及参数 | 第19-20页 |
| 1.3 氧化物半导体的气敏性能影响因素 | 第20-25页 |
| 1.3.1 材料化学成分的影响 | 第20-21页 |
| 1.3.2 材料尺寸的影响 | 第21-24页 |
| 1.3.3 比表面积的影响 | 第24页 |
| 1.3.4 材料晶粒表面能的影响 | 第24-25页 |
| 1.3.5 工作温度的影响 | 第25页 |
| 1.4 半导体气敏材料的改性 | 第25-31页 |
| 1.4.1 表面修饰与复合材料 | 第26-27页 |
| 1.4.2 控制晶粒形貌 | 第27-29页 |
| 1.4.3 构筑分等级结构与中空、多孔结构 | 第29-31页 |
| 1.5 氧化物半导体纳米材料的合成方法 | 第31-34页 |
| 1.5.1 水热合成法和溶剂热合成法 | 第31页 |
| 1.5.2 静电纺丝法 | 第31-34页 |
| 1.6 本论文的主要工作 | 第34-36页 |
| 第二章 ZnO纳米环的制备及其三甲胺气敏性能研究 | 第36-55页 |
| 2.1 引言 | 第36页 |
| 2.2 实验过程 | 第36-41页 |
| 2.2.1 ZnO纳米环、片的制备 | 第36-39页 |
| 2.2.2 材料表征方法及仪器 | 第39页 |
| 2.2.3 器件制作、老化与性能测试 | 第39-41页 |
| 2.3 ZnO纳米环的表征分析 | 第41-46页 |
| 2.4 ZnO纳米环的形成机理 | 第46-48页 |
| 2.4.1 PVA的加入量对水热产物ZnO形貌的影响机理 | 第46-48页 |
| 2.4.2 水浴预处理对水热产物ZnO形貌的影响机理 | 第48页 |
| 2.5 ZnO纳米片、环气敏性能分析 | 第48-52页 |
| 2.6 气敏机理解释 | 第52-54页 |
| 2.7 本章小结 | 第54-55页 |
| 第三章 ZnO纳米纤维和NiO/ZnO异质结构纳米纤维的三甲胺气敏性能研究 | 第55-69页 |
| 3.1 引言 | 第55-56页 |
| 3.2 实验过程 | 第56-58页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第58-65页 |
| 3.3.1 材料表征分析 | 第58-61页 |
| 3.3.2 气敏性能分析 | 第61-65页 |
| 3.4 机理分析 | 第65-67页 |
| 3.4.1 ZnO纳米纤维的气敏机理 | 第65页 |
| 3.4.2 NiO/ZnO异质结构纳米纤维的PN结机理解释 | 第65-67页 |
| 3.5 本章小结 | 第67-69页 |
| 第四章 基于贵金属修饰的Zn O纳米环的乙炔敏感性能研究 | 第69-81页 |
| 4.1 引言 | 第69页 |
| 4.2 实验过程 | 第69-71页 |
| 4.2.1 材料合成 | 第69-70页 |
| 4.2.2 材料表征 | 第70-71页 |
| 4.3 表征分析 | 第71-74页 |
| 4.4 气敏性能分析 | 第74-77页 |
| 4.5 机理解释 | 第77-79页 |
| 4.6 本章小结 | 第79-81页 |
| 第五章 基于Au纳米粒子修饰的高能晶面SnO_2气体传感器研究 | 第81-98页 |
| 5.1 引言 | 第81-82页 |
| 5.2 实验过程 | 第82-83页 |
| 5.2.1 材料合成 | 第82-83页 |
| 5.2.2 材料表征 | 第83页 |
| 5.3 材料表征分析 | 第83-88页 |
| 5.4 乙炔气敏性能研究 | 第88-94页 |
| 5.5 一氧化碳气敏性能研究 | 第94-96页 |
| 5.6 本章小结 | 第96-98页 |
| 第六章 总结与展望 | 第98-101页 |
| 参考文献 | 第101-113页 |
| 作者简历及攻读博士期间发表的论文 | 第113-115页 |
| 致谢 | 第115页 |
