| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 BiFeO_3材料简介 | 第10-11页 |
| 1.2 BiFeO_3的制备及其阻变特性 | 第11-14页 |
| 1.3 阻变存储器 | 第14-15页 |
| 1.4 本文主要内容 | 第15-17页 |
| 第2章 薄膜的制备与表征方法 | 第17-25页 |
| 2.1 薄膜的制备方法 | 第17-19页 |
| 2.1.1 磁控溅射法 | 第17-18页 |
| 2.1.2 溶胶凝胶法 | 第18页 |
| 2.1.3 脉冲激光沉积 | 第18-19页 |
| 2.2 薄膜的分析表征方法 | 第19-24页 |
| 2.2.1 结晶性能分析 | 第19-20页 |
| 2.2.2 表面形貌分析 | 第20-22页 |
| 2.2.3 电学性能测试 | 第22-24页 |
| 2.3 本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 Pt/BiFeO_3/Nb：SrTiO_3异质结的制备及其阻变性能研究 | 第25-47页 |
| 3.1 Pt/BiFeO_3/Nb：SrTiO_3异质结的制备 | 第25-30页 |
| 3.1.1 BiFeO_3薄膜制备 | 第25-26页 |
| 3.1.2 电极的制备 | 第26-27页 |
| 3.1.3 BiFeO_3薄膜结晶性能分析及表面形貌分析 | 第27-30页 |
| 3.2 Pt/BiFeO_3/Nb：SrTiO_3异质结的性能表征 | 第30-34页 |
| 3.2.1 I-V特性测试 | 第30-32页 |
| 3.2.2 保持特性测试 | 第32-34页 |
| 3.3 Pt/BiFeO_3/Nb：SrTiO_3异质结的阻变机制分析 | 第34-39页 |
| 3.4 缺陷对BiFeO_3薄膜器件阻变性能的影响 | 第39-45页 |
| 3.5 本章小结 | 第45-47页 |
| 第4章 Au/BiFeO_3/SrRuO_3/SrTiO_3器件的制备及其阻变性能研究 | 第47-57页 |
| 4.1 SrRuO_3下电极的制备 | 第47-52页 |
| 4.2 Au/BiFeO_3/SrRuO_3/SrTiO_3器件的性能表征 | 第52-54页 |
| 4.2.1 阻变性能测试 | 第52-54页 |
| 4.2.2 铁电特性测试 | 第54页 |
| 4.3 本章小结 | 第54-57页 |
| 结论 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第65-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
